| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-10页 |
| 第一章 离子注入的原子级模拟方法 | 第10-20页 |
| §1.1、两体碰撞近似(蒙特卡罗方法) | 第10-16页 |
| ·两体碰撞 | 第10-13页 |
| ·离子注入过程的模拟 | 第13-15页 |
| ·模拟多个原子同时碰撞 | 第15-16页 |
| §1.2、分子动力学方法 | 第16-20页 |
| 第二章 原子间碰撞的能量损失机制 | 第20-32页 |
| §2.1、弹性碰撞的能量损失 | 第20-24页 |
| ·库仑屏蔽势函数 | 第20-22页 |
| ·BORN-MAYER势函数 | 第22-24页 |
| §2.2、非弹性碰撞的能量损失 | 第24-28页 |
| ·FIRSOV局域非弹性碰撞的能量损失模型 | 第24-25页 |
| ·LINDHARD非弹性碰撞的能量损失模型 | 第25-26页 |
| ·BK非弹性碰撞能量损失模型 | 第26-28页 |
| §2.3、靶原子间多体相互作用 | 第28-32页 |
| 第三章 LEACS中采取的优化算法及相关物理近似 | 第32-48页 |
| §3.1、反冲原子近似 | 第32-33页 |
| §3.2、域跟随更新算法 | 第33-34页 |
| §3.3、双近邻原子列表方法 | 第34-36页 |
| §3.4、轨迹分裂和稀有事件算法 | 第36-39页 |
| §3.5、经典力学方程的求解算法 | 第39-41页 |
| §3.6、加速度的求解 | 第41-42页 |
| §3.7、模拟的时间步长 | 第42-43页 |
| §3.8、晶格自身振动的考虑 | 第43-44页 |
| §3.9、级联碰撞及损伤积累 | 第44-46页 |
| §3.10、空位和间隙原子识别 | 第46-47页 |
| §3.11、表面非晶层多层靶的模拟 | 第47-48页 |
| 第四章 低能离子注入模拟程序LEACS | 第48-56页 |
| §4.1、程序流程 | 第48-51页 |
| §4.2、本地版LEACS | 第51-56页 |
| 第五章 LEACS模拟计算结果与实验数据对比 | 第56-70页 |
| §5.1、射程分布 | 第56-66页 |
| ·电子阻止与非弹性碰撞能量损失 | 第56-57页 |
| ·稀有时间算法的优势 | 第57-58页 |
| ·靶原子间相互作用的影响 | 第58-60页 |
| ·离子注入实验比较 | 第60-66页 |
| §5.2、级联损伤 | 第66-70页 |
| ·剂量效应对射程分布的影响 | 第66-67页 |
| ·损伤分布 | 第67-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 附录 | 第75-79页 |
| 附录A DMOL势函数 | 第75-79页 |
| 附录B 硅原子的HARTREE-FOCK电荷密度分布 | 第79页 |