基于MEMS的压阻悬臂梁式生物传感器设计
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-11页 |
| ·MEMS 传感器简介 | 第6-8页 |
| ·MEMS | 第6-7页 |
| ·MEMS 传感器 | 第7-8页 |
| ·微悬臂梁结构与MEMS 生物传感器 | 第8-9页 |
| ·选题的意义和研究方向 | 第9-11页 |
| 第二章 压阻悬臂梁生物传感器的基本工作原理 | 第11-22页 |
| ·半导体的压阻效应 | 第11-14页 |
| ·压阻效应原理 | 第11-13页 |
| ·单晶硅的压阻系数 | 第13-14页 |
| ·传感器中惠斯通电桥原理 | 第14-15页 |
| ·癌细胞的选择性吸附原理 | 第15-19页 |
| ·抗体和抗原的免疫反应 | 第16-17页 |
| ·磁球的制备 | 第17-19页 |
| ·压阻悬臂梁生物传感器的工作原理 | 第19-22页 |
| 第三章 压阻悬臂梁生物传感器的结构设计与仿真优化 | 第22-41页 |
| ·悬臂梁的力学分析与优化 | 第22-32页 |
| ·单层膜悬臂梁的力学分析 | 第22-24页 |
| ·复合膜悬臂梁的力学分析 | 第24-26页 |
| ·悬臂梁的灵敏度与噪声 | 第26-28页 |
| ·U 型悬臂梁的主要设计参数 | 第28-29页 |
| ·悬臂梁的结构优化设计 | 第29-32页 |
| ·悬臂梁上电感线圈的设计与电磁仿真 | 第32-41页 |
| ·平面电感线圈磁场理论分析 | 第32-34页 |
| ·磁场对磁球的吸引力计算 | 第34-35页 |
| ·平面电感线圈产生磁场的特性仿真 | 第35-39页 |
| ·电感线圈的优化设计 | 第39-41页 |
| 第四章 压阻悬臂梁生物传感器的版图与工艺设计 | 第41-58页 |
| ·两种不同的制作方案 | 第41-44页 |
| ·基于单晶硅的制作工艺流程 | 第41-43页 |
| ·基于SOI 的制作工艺流程 | 第43-44页 |
| ·两种方案的比较 | 第44页 |
| ·传感器结构尺寸 | 第44-52页 |
| ·SOI 片参数的选取 | 第45-49页 |
| ·压敏电阻的尺寸选取 | 第49-50页 |
| ·电感线圈的材料选取 | 第50-51页 |
| ·电桥连接方式的选择 | 第51-52页 |
| ·悬臂梁生物传感器的版图 | 第52-56页 |
| ·悬臂梁生物传感器的制版说明与工艺要求 | 第56-58页 |
| ·制版说明 | 第56页 |
| ·工艺要求 | 第56-58页 |
| 第五章 全文总结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
