| 中文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·研究背景 | 第9-12页 |
| ·氧化锌的基本性质 | 第10-11页 |
| ·离子注入技术及其应用 | 第11-12页 |
| ·氧化锌薄膜的研究现状及其存在的困难 | 第12-15页 |
| ·离子注入氧化锌薄膜的研究概况 | 第15页 |
| ·本论文的选题意义和主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 实验方法及其理论模拟 | 第17-30页 |
| ·氧化锌薄膜的制备 | 第17-18页 |
| ·离子注入及其退火过程 | 第18-20页 |
| ·测试手段及其基本原理 | 第20-25页 |
| ·X 射线衍射仪（XRD） | 第20-21页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第21-22页 |
| ·荧光分光光度计（PL） | 第22-23页 |
| ·紫外-可见分光光度计(UV-Vis) | 第23-24页 |
| ·霍尔（Hall）效应 | 第24-25页 |
| ·离子注入原理与 TRIM 模拟注入过程 | 第25-30页 |
| ·离子注入原理 | 第25-26页 |
| ·TRIM 和 SRIM 程序 | 第26-30页 |
| 第三章 氮离子注入氧化锌薄膜的表面形貌、化学成分及其结构分析 | 第30-39页 |
| ·X 射线衍射仪的结果与分析 | 第30-34页 |
| ·扫描电子显微镜的结果与分析 | 第34-36页 |
| ·电子能量色散谱的结果和分析 | 第36-38页 |
| ·本章小节 | 第38-39页 |
| 第四章 氮离子注入氧化锌薄膜的光学性质 | 第39-50页 |
| ·光吸收和透射结果及其讨论 | 第39-41页 |
| ·带边特性和近带边特性 | 第41-46页 |
| ·吸收带边和光学带隙 | 第41-44页 |
| ·近带边特性和带尾特性 | 第44-46页 |
| ·光致发光（PL）结果及其讨论 | 第46-48页 |
| ·本章小节 | 第48-50页 |
| 第五章 氮离子注入氧化锌薄膜的电学性质及其制作p 型结的困难 | 第50-60页 |
| ·霍尔效应的结果 | 第50-51页 |
| ·用离子注入制作 P 型 ZnO 的困难及其解决办法 | 第51-53页 |
| ·制作高质量的 P 型氧化锌的理论研究和可行性探讨 | 第53-59页 |
| ·本章小节 | 第59-60页 |
| 第六章 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-72页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第72-73页 |
| 附录 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
