微梳齿谐振器力学特性的仿真研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
第一章 引言	第7-14页
·微机电系统	第7页
·微机电系统力学特性的仿真分析	第7-10页
·微梳齿谐振器的研究	第10-12页
·本论文的工作	第12-14页
第二章 微梳齿谐振器的工作原理和仿真原理	第14-25页
·微梳齿静电驱动原理	第14-17页
·微梳齿谐振器的动力学原理	第17-20页
·有限元分析原理	第20-24页
·本章总结	第24-25页
第三章 考虑耦合作用的微梳齿结构静态驱动特性分析	第25-38页
·考虑耦合效应的三维梳齿单元建模	第25-27页
·考虑耦合效应时结构参数对梳齿驱动特性的影响	第27-32页
·加工误差及耦合作用对梳齿驱动特性的影响	第32-37页
·本章总结	第37-38页
第四章 微梳齿谐振器故障的动态仿真	第38-58页
·微梳齿结构动力学建模	第38-43页
·微梳齿谐振器常见的故障	第43-44页
·颗粒粘结故障的建模与分析	第44-50页
·梁裂纹故障的建模与分析	第50-54页
·断齿故障的建模与分析	第54-55页
·故障诊断方法及处理	第55-56页
·本章总结	第56-58页
第五章 微梳齿谐振器的动态检测技术	第58-69页
·引言	第58-59页
·微结构动态性能的检测方法	第59-65页
·激光多普勒测振仪在梳齿结构检测中的应用	第65-68页
·本章总结	第68-69页
第六章 结论和展望	第69-71页
·结论	第69-70页
·展望	第70-71页
参考文献	第71-75页
致谢	第75-76页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果	第76页