石英振梁加速度计技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-11页 |
| ·概述 | 第7-8页 |
| ·MEMs技术简介 | 第8-9页 |
| ·国内外发展历史及研究现状 | 第9-11页 |
| 第二章 石英振梁加速度计的设计及分析理论介绍 | 第11-29页 |
| ·设计理论介绍 | 第11-21页 |
| ·石英晶体的压电效应 | 第11-14页 |
| ·压电石英晶体的力-频特性 | 第14-18页 |
| ·力-频灵敏度及其温度特性 | 第18-21页 |
| ·有限元分析理论介绍 | 第21-23页 |
| ·有限元法综述 | 第21-22页 |
| ·ANSYS软件介绍 | 第22-23页 |
| ·石英振梁加速度计的静态数学模型及实验方法 | 第23-29页 |
| ·静态数学模型 | 第23-24页 |
| ·加速度计在地球重力场中的试验方法 | 第24-29页 |
| 第三章 石英振梁加速度计设计及仿真分析 | 第29-41页 |
| ·工作原理 | 第29-30页 |
| ·结构设计 | 第30-31页 |
| ·仿真分析 | 第31-38页 |
| ·石英振梁加速度计模态分析 | 第32-34页 |
| ·动态响应分析 | 第34页 |
| ·加速度计的应力分析 | 第34-35页 |
| ·压电分析 | 第35-38页 |
| ·加速度计的优化设计 | 第38-41页 |
| 第四章 石英振梁加速度计的微加工工艺 | 第41-49页 |
| ·光刻工艺 | 第41-43页 |
| ·石英晶体各向异性刻蚀工艺 | 第43-49页 |
| 第五章 石英振梁加速度计的误差估计 | 第49-52页 |
| ·布朗噪声 | 第49-50页 |
| ·温度误差 | 第50-51页 |
| ·交叉加速度误差 | 第51-52页 |
| 第六章 石英振梁加速度计的实验结果 | 第52-57页 |
| 第七章 结论 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第61页 |
| 1. 个人简历 | 第61页 |
| 2. 在学期间的研究成果 | 第61页 |
| 3. 发表的学术论文 | 第61页 |
