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微摩擦测试仪中微力传感器的研究

中文摘要第1-3页
英文摘要第3-5页
目录第5-7页
图表索引第7-9页
第一章 绪论第9-14页
 1.1 概述第9-13页
 1.2 本文主要研究内容第13-14页
第二章 微力传感器的结构设计及制作第14-24页
 2.1 微摩擦测试仪的几个要点及难点第14-15页
 2.2 微摩擦测试仪的总体结构设计第15-18页
 2.3 微力传感器的结构设计第18-22页
  2.3.1 微力传感器的结构尺寸的确定第18-20页
  2.3.2 微力传感器的ANSYS仿真第20-22页
 2.4 微力传感器的制作工艺第22-24页
第三章第24-43页
 3.1 变换电路的设计第24-28页
 3.2 高性能放大电路的设计第28-41页
  3.2.1 斩波调制电路的设计第32-36页
  3.2.2 放大电路的设计第36-38页
  3.2.3 解调电路的设计第38-40页
  3.2.4 斩波调制放大电路的性能分析第40-41页
 3.3 系统电磁干扰的研究第41-43页
第四章 微力传感器的静态性能分析第43-47页
 4.1 微力传感器的线性度第44-45页
 4.2 微力传感器的重复性第45-46页
 4.3 微力传感器的灵敏度第46页
 4.4 微力传感器的分辨率第46页
 4.5 微力传感器的精度第46-47页
第五章 全文总结第47-48页
致谢第48-49页
参考文献第49-52页
作者简介第52-53页
作者在攻读硕士学位期间发表的论文第53页

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