微摩擦测试仪中微力传感器的研究
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| 英文摘要 | 第3-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 图表索引 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1．1 概述 | 第9-13页 |
| 1．2 本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 微力传感器的结构设计及制作 | 第14-24页 |
| 2．1 微摩擦测试仪的几个要点及难点 | 第14-15页 |
| 2．2 微摩擦测试仪的总体结构设计 | 第15-18页 |
| 2．3 微力传感器的结构设计 | 第18-22页 |
| 2．3．1 微力传感器的结构尺寸的确定 | 第18-20页 |
| 2．3．2 微力传感器的ANSYS仿真 | 第20-22页 |
| 2．4 微力传感器的制作工艺 | 第22-24页 |
| 第三章 | 第24-43页 |
| 3．1 变换电路的设计 | 第24-28页 |
| 3．2 高性能放大电路的设计 | 第28-41页 |
| 3．2．1 斩波调制电路的设计 | 第32-36页 |
| 3．2．2 放大电路的设计 | 第36-38页 |
| 3．2．3 解调电路的设计 | 第38-40页 |
| 3．2．4 斩波调制放大电路的性能分析 | 第40-41页 |
| 3．3 系统电磁干扰的研究 | 第41-43页 |
| 第四章 微力传感器的静态性能分析 | 第43-47页 |
| 4．1 微力传感器的线性度 | 第44-45页 |
| 4．2 微力传感器的重复性 | 第45-46页 |
| 4．3 微力传感器的灵敏度 | 第46页 |
| 4．4 微力传感器的分辨率 | 第46页 |
| 4．5 微力传感器的精度 | 第46-47页 |
| 第五章 全文总结 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 作者简介 | 第52-53页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第53页 |
