SOI器件及铁电存储器特性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·半导体存储器 | 第10页 |
| ·SOI 器件相对于体硅器件的优点 | 第10-14页 |
| ·SOI 器件应用现状及前景 | 第11-13页 |
| ·SOI 器件需要解决的问题 | 第13-14页 |
| ·SOI 器件的计算机模拟 | 第14页 |
| ·铁电存储器发展现状 | 第14-22页 |
| ·铁电存储器的优点 | 第16页 |
| ·铁电存储器存储原理 | 第16-17页 |
| ·铁电薄膜技术的发展 | 第17-19页 |
| ·铁电存储器的结构及模拟 | 第19-22页 |
| ·选题的依据及主要内容 | 第22-23页 |
| 第二章 半导体器件的计算机模拟 | 第23-31页 |
| ·半导体器件模拟简介 | 第23页 |
| ·半导体器件模拟的现状 | 第23-24页 |
| ·半导体器件模拟的理论基础 | 第24-28页 |
| ·半导体器件模拟的数学理论 | 第25页 |
| ·半导体器件模拟的物理理论 | 第25-28页 |
| ·SILVACO 软件介绍 | 第28-30页 |
| ·半导体器件模拟的意义 | 第30-31页 |
| 第三章 SOI 器件的模拟 | 第31-52页 |
| ·SOI 器件简介 | 第31-32页 |
| ·SOI 器件温度特性模拟 | 第32-49页 |
| ·SOI 器件高温特性模拟 | 第32-36页 |
| ·FD SOI 器件阈值电压及表面势的温度模型 | 第36-49页 |
| ·SOI 器件瞬态特性模拟 | 第49-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第四章 AC PD SOI 器件的模拟 | 第52-60页 |
| ·AC PD SOI 器件简介 | 第52页 |
| ·AC PD SOI 器件直流特性模拟 | 第52-56页 |
| ·AC PD SOI 器件瞬态特性模拟 | 第56-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第五章 MFIS 铁电存储器模拟 | 第60-69页 |
| ·铁电存储器的不同结构 | 第60页 |
| ·MFIS 铁电存储器的模拟 | 第60-68页 |
| ·MFIS 铁电存储器温度模型 | 第61-65页 |
| ·衬底掺杂浓度对MFIS 铁电存储器的影响 | 第65-68页 |
| ·小结 | 第68-69页 |
| 第六章 铁电薄膜的制备及MFI-SOI 结构模拟 | 第69-79页 |
| ·铁电薄膜的概述 | 第69-70页 |
| ·BDTV 铁电薄膜的制备及退火温度的影响 | 第70-74页 |
| ·BYTV 铁电薄膜的制备及性能表征 | 第74-76页 |
| ·改进的铁电存储器结构 | 第76-77页 |
| ·基于SOI 衬底的铁电存储器模拟 | 第77-78页 |
| ·阈值电压 | 第77页 |
| ·亚阈值电流 | 第77-78页 |
| ·小结 | 第78-79页 |
| 第七章 总结及展望 | 第79-81页 |
| ·论文总结 | 第79-80页 |
| ·展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 攻读学位期间发表论文目录 | 第89页 |
