关于深亚微米器件GOI及NBTI可靠性问题的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 引言 | 第7-12页 |
| 第一章 可靠性的相关理论基础 | 第12-20页 |
| 第一节 可靠性工作的意义与内容 | 第12-14页 |
| 第二节 器件可靠性的一些数学基础 | 第14-20页 |
| ·器件可靠性常用的几个数学概念 | 第14-15页 |
| ·可靠性各主要特征量之间的关系 | 第15-16页 |
| ·器件失效的一般规律 | 第16-17页 |
| ·可靠性分析中常用的几个寿命分布模型 | 第17-20页 |
| 第二章 GOI测试方法和相关理论的研究 | 第20-55页 |
| 第一节 关于栅氧化层与击穿模式的背景介绍 | 第20-24页 |
| ·栅氧层中的电荷类型 | 第20-22页 |
| ·栅氧层的击穿模型 | 第22-24页 |
| 第二节 栅氧化层的击穿分类与测试结构 | 第24-27页 |
| ·栅氧击穿分类 | 第24-25页 |
| ·栅氧化层的测试结构 | 第25-27页 |
| 第三节 栅氧化层的测试方法与失效判定 | 第27-35页 |
| ·测试方法 | 第27-33页 |
| ·失效判定 | 第33-35页 |
| 第四节 栅氧化层的数据分析 | 第35-43页 |
| ·数据分类标准与模型运用 | 第35-41页 |
| ·测试样品数量的确定与缺陷密度的换算 | 第41-43页 |
| 第五节 超薄氧化层下的测试挑战与实例分析 | 第43-52页 |
| 第六节 栅氧化层在线上制程的控制 | 第52-55页 |
| 第三章 NBTI测试方法和相关理论的研究 | 第55-69页 |
| 第一节 关于NBTI效应的背景及失效模型 | 第55-58页 |
| 第二节 NBTI的测试方法与失效判定 | 第58-60页 |
| ·NBTI的测试流程 | 第58-59页 |
| ·NBTI的失效判定 | 第59-60页 |
| 第三节 NBTI的模型分析 | 第60-61页 |
| 第四节 关于NBTI的测试挑战 | 第61-69页 |
| ·NBTI的饱和现象与自恢复效应 | 第61-64页 |
| ·关于AC下的NBTI测试 | 第64-69页 |
| 第四章 总结和展望 | 第69-70页 |
| 第五章 附录 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 后记 | 第74-75页 |
