| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-20页 |
| ·ZnO材料的概况 | 第10-13页 |
| ·ZnO结构和性质 | 第10-11页 |
| ·纳米ZnO的应用 | 第11-13页 |
| ·ZnO薄膜的研究进展 | 第13-16页 |
| ·薄膜研究的历史 | 第13页 |
| ·ZnO薄膜的研究的历史及进展 | 第13-16页 |
| ·本论文研究工作简介 | 第16-18页 |
| 参考文献 | 第18-20页 |
| 第二章 ZnO薄膜的制备及表征 | 第20-32页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第20-26页 |
| ·常用制备方法 | 第20-23页 |
| ·实验室ZnO薄膜的制备 | 第23-26页 |
| ·ZnO薄膜的表征 | 第26-31页 |
| ·X射线衍射仪(XRD) | 第26-28页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第28页 |
| ·荧光分光光度计 | 第28-29页 |
| ·紫外分光光度计 | 第29-31页 |
| 参考文献 | 第31-32页 |
| 第三章 Fe的不同掺杂量对ZnO薄膜光致发光的影响 | 第32-39页 |
| ·Fe的不同掺杂量对ZnO薄膜结构的影响 | 第32-34页 |
| ·Fe的不同掺杂量对ZnO薄膜光致发光特性的影响 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-39页 |
| 第四章 ZnO/Si0_2复合薄膜结构特性的研究 | 第39-47页 |
| ·Si0_2的沉积时间对ZnO/Si0_2薄膜结构的影响 | 第39-43页 |
| ·退火温度对ZnO/Si0_2薄膜结构的影响 | 第43-44页 |
| ·Si0_2的沉积时间对ZnO/Si0_2薄膜光透射特性的影响 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-47页 |
| 第五章 总结与展望 | 第47-49页 |
| ·总结 | 第47-48页 |
| ·展望 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 附录：攻读硕士学位期间发表的论文 | 第50页 |
