无阀微流控闭环调焦系统特性研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第1章 绪论	第8-17页
·课题来源及研究目的	第8-9页
·国内外研究现状及分析	第9-15页
·MEMS与微流控系统研究现状	第9-11页
·微流体理论研究现状	第11-12页
·液体光学系统研究现状	第12-15页
·本课题主要研究内容	第15-17页
第2章 无阀微流控闭环调焦系统的数学模型	第17-32页
·无阀微流控闭环调焦系统结构及其工作原理	第17-20页
·微流控系统结构	第17-18页
·无阀压电微泵结构及其工作原理	第18-19页
·控制器结构及其工作原理	第19-20页
·微流控系统数学模型	第20-27页
·无阀压电微泵的数学模型	第20-25页
·微调焦装置的数学模型	第25-27页
·微流控系统有限元仿真数学模型	第27-31页
·本章小结	第31-32页
第3章 无阀微流控闭环调焦系统的仿真分析	第32-45页
·无阀微流控闭环调焦系统有限元分析	第32-40页
·压电振动薄膜的有限元分析	第32-37页
·微调焦装置薄膜结构的有限元分析	第37-40页
·无阀微流控闭环调焦系统的动态特性分析	第40-44页
·无阀压电微泵特性的动态特性分析	第40-41页
·双泵闭环系统的动态特性分析	第41-43页
·多泵闭环系统的动态特性分析	第43-44页
·本章小结	第44-45页
第4章 无阀微流控闭环调焦系统的试验研究	第45-57页
·无阀压电微泵特性试验研究	第45-52页
·传感器结构及其工作原理	第45-46页
·压电薄膜特性试验研究	第46-51页
·微泵最佳工作频率试验研究	第51-52页
·无阀微流控调焦系统静态特性试验研究	第52-53页
·无阀微流控闭环调焦系统动态特性试验研究	第53-56页
·本章小结	第56-57页
结论	第57-59页
参考文献	第59-62页
攻读学位期间发表的学术论文	第62-64页
致谢	第64页