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(Me,Li)掺杂的ZnO薄膜的制备及其微结构及铁电铁磁性研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
第一章 多铁材料和稀磁半导体(DMS)介绍第11-55页
   ·铁磁体(FERROMAGNETS)第12-13页
   ·铁电体(FERROELECTRIC)第13-15页
   ·铁电性与铁磁性共存性难题第15页
   ·典型的多铁薄膜材料第15-17页
     ·YMnO_3第15-16页
     ·BiMnO_3薄膜第16页
     ·BiFeO_3薄膜第16-17页
   ·多铁材料应用第17-20页
     ·铁电隧穿结(FTJ,ferroelectric tunneling junction)第17页
     ·巨电阻效应(Giant Electroresistance,GER)第17-19页
     ·多铁遂穿结(MFTJ,multiferroic tunneling junction)第19-20页
     ·铁磁隧道结(ferromagnetism tunneling junction)第20页
   ·稀磁半导体(DMS,DILUTED MAGNETIC SEMICONDUCTOR)第20-23页
   ·稀磁半导体(DMS)的理论模型第23-27页
     ·Zener模型第24-25页
     ·RKKY模型第25页
     ·平均场zener模型第25-26页
     ·双交换模型第26-27页
     ·束缚磁激子模型(BMP)第27页
   ·样品的微结构及铁电铁磁性能检测手段第27-47页
     ·X射线衍射谱(XRD)第27-30页
     ·原子力显微镜(AFM)第30-33页
     ·扫描电镜(SEM)第33-35页
     ·X射线光电子能谱(XPS)第35-36页
     ·Raman散射谱第36-38页
     ·吸收光谱第38-39页
     ·透射电子显微像(transmission electron microscopy,TEM)第39-43页
     ·光致发光(Photoluminescence,PL)第43-44页
     ·超导量子干涉仪(superconducting quantum interference device,SQUID)第44-46页
     ·电场-极化强度测试(Sawyer-Tower 电路)第46-47页
   ·参考文献第47-55页
第二章 ZNO基稀磁半导体的制备方法第55-73页
   ·金属有机物化学气相沉积(MOCVD)第55-57页
   ·分子束外延(MBE)第57-58页
   ·脉冲激光沉积(PLD)第58-61页
   ·磁控溅射第61-63页
   ·电化学法(ELECTRO-DEPOSITION)第63-65页
   ·溶胶-凝胶法第65-66页
   ·离子注入(ION IMPLANTATION)第66-70页
     ·金属蒸发真空多弧离子源(MEVVA)第67-68页
     ·离子注入的射程理论第68-69页
     ·离子注入的程序模拟(Ion implantation process simulation)第69-70页
   ·参考文献第70-73页
第三章 ME和LI共掺杂ZNO薄膜的制备及性能分析第73-106页
   ·LI离子注入ZNO的铁电性第73-80页
     ·Li离子掺杂ZnO薄膜的实验条件第74页
     ·Li离子掺杂ZnO薄膜的实验结果与讨论第74-79页
     ·Li离子注入形成ZnO:Li薄膜铁电性结论第79-80页
     ·Co离子注入ZNO的铁磁性第80-83页
     ·Co离子注入ZnO薄膜的条件第80页
     ·Co离子注入ZnO薄膜的实验结果与讨论第80-83页
     ·Co离子注入ZnO后形成ZnO:Co薄膜小结第83页
   ·LI和Co共注入ZNO薄膜的多铁性第83-88页
     ·ZnO:CoLi薄膜的离子注入制备过程第83-84页
     ·Li和Co离子共注入ZnO的实验结果与讨论第84-88页
     ·(Li,Co)共注入ZnO形成ZnO:(Li,Co)薄膜多铁性结论第88页
   ·(Cu,LI)共掺杂ZNO薄膜的磁控溅射制备及多铁性能检测第88-94页
     ·(Cu,Li)共掺杂ZnO薄膜的磁控溅射制备条件第88-89页
     ·磁控溅射制备的(Cu,Li)共掺杂ZnO薄膜的实验结果与讨论第89-93页
     ·磁控溅射制备的(Cu,Li)共掺杂ZnO薄膜的结论第93-94页
   ·P型(MN,LI)共掺杂ZNO薄膜的磁控溅射制备及缺陷相关室温铁磁性研究第94-100页
     ·P型(Mn,Li)共掺杂ZnO薄膜的磁控溅射制备条件第94-95页
     ·P型(Mn,Li)共掺杂ZnO薄膜的磁控溅射制备的实验结果与讨论第95-100页
     ·磁控溅射制备p型Zn_(0.95-x)Mn_xLi_(0.05)O薄膜小结第100页
   ·参考文献第100-106页
第四章 离子源辅助中频磁控溅射制备CRN及GAN薄膜第106-120页
   ·CRN薄膜的离子源辅助中频磁控溅射制备第106-111页
   ·GAN薄膜的离子源辅助中频磁控溅射制备第111-117页
     ·GaN薄膜制备的实验条件第112-113页
     ·实验结果与讨论第113-117页
   ·参考文献第117-120页
第五章 总结及展望第120-121页
攻读博士期间论文发表情况第121-124页
致谢第124-125页

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