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氧氩比和氢离子注入对ZnO薄膜微结构及光学性能的影响

摘要第1-8页
Abstract第8-13页
引言第13-15页
第一章 正电子谱学方法第15-34页
   ·正电子的发现第15-16页
   ·正电子湮没过程第16-21页
   ·正电子湮没谱学的几种实验方法第21-29页
     ·正电子湮没寿命测量第21-23页
     ·多普勒展宽测量第23-25页
     ·双探头符合多普勒展宽技术第25-27页
     ·慢正电子束技术第27-29页
   ·慢正电子束技术的应用及国内外研究现状第29-32页
   ·本文研究目的和主要内容第32-34页
第二章 反物质(正电子)的未来应用展望第34-40页
   ·引言第34页
   ·反物质的研究发展史第34-35页
   ·反物质释放能量的原理第35-36页
   ·反物质的应用前景第36-38页
     ·航空第36-37页
     ·武器第37-38页
   ·反物质应用所面临的机遇和挑战第38-39页
   ·未来展望第39-40页
第三章 ZnO薄膜材料的物理性质及其应用第40-52页
   ·引言第40-41页
   ·ZnO薄膜的基本性质第41-43页
     ·ZnO薄膜的晶体结构第41-43页
     ·ZnO薄膜的光电性质第43页
   ·ZnO薄膜的制备方法第43-46页
     ·磁控溅射法第43-44页
     ·脉冲激光沉积法第44-45页
     ·化学气相沉积法第45页
     ·分子束外延技术第45-46页
   ·氧氩比对ZnO中缺陷的影响第46-47页
   ·氢掺杂ZnO及其性能研究第47-52页
第四章 氧氩比对ZnO薄膜的微结构及光学性能的影响第52-62页
   ·引言第52-53页
   ·实验方法第53-54页
   ·结果与讨论第54-61页
     ·微结构分析第54-56页
     ·VEPAS测量第56-59页
     ·光学性能第59-61页
   ·本章小结第61-62页
第五章 氢离子注入对ZnO薄膜的微结构及光学性能的影响第62-72页
   ·引言第62-63页
   ·实验方法第63页
   ·结果与讨论第63-71页
     ·H离子注入的分布第64页
     ·微结构和缺陷分析第64-69页
     ·光学性能第69-71页
   ·本章小结第71-72页
第六章 结论与展望第72-74页
附录第74-80页
参考文献第80-91页
作者在攻读博士学位期间发表的论文第91-92页
致谢第92-93页

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