| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 引言 | 第10-14页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10-12页 |
| 1.2 研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.1 电容微位移传感关键技术 | 第12页 |
| 1.2.2 电容微位移传感技术的发展趋势 | 第12-13页 |
| 1.3 论文的结构 | 第13-14页 |
| 2 电容式传感器的类型和工作原理 | 第14-27页 |
| 2.1 电容传感器的机械探头结构 | 第14-21页 |
| 2.1.1 变极距型电容式传感器 | 第14-17页 |
| 2.1.2 变面积型电容式传感器 | 第17-19页 |
| 2.1.3 变介质型电容式传感器 | 第19-21页 |
| 2.2 电容传感器的弱信号提取电路 | 第21-26页 |
| 2.2.1 传统的差动式传感器电桥 | 第21-22页 |
| 2.2.2 现代精密仪器中的差动式传感器电桥 | 第22-23页 |
| 2.2.3 弱信号的提取方式 | 第23-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 定片提取信号型与动片提取信号型电路的理论与实验对比 | 第27-65页 |
| 3.1 传感偏置模型 | 第27-36页 |
| 3.1.1 定片提取信号型 | 第27-31页 |
| 3.1.2 动片提取信号型 | 第31-35页 |
| 3.1.3 传感偏置模型对比 | 第35-36页 |
| 3.2 传递函数模型 | 第36-47页 |
| 3.2.1 定片提取信号型 | 第36-42页 |
| 3.2.2 动片提取信号型 | 第42-47页 |
| 3.2.3 传递函数模型对比 | 第47页 |
| 3.3 TIA噪声源模型 | 第47-52页 |
| 3.3.1 噪声源 | 第47-50页 |
| 3.3.2 噪声增益 | 第50-52页 |
| 3.3.3 TIA噪声源模型总结 | 第52页 |
| 3.4 其他模块实验与结果对比 | 第52-62页 |
| 3.4.1 稳压器 | 第52-53页 |
| 3.4.2 信号发生器 | 第53页 |
| 3.4.3 激励信号产生器 | 第53-54页 |
| 3.4.4 带通滤波器 | 第54-56页 |
| 3.4.5 模拟乘法器 | 第56-57页 |
| 3.4.6 低通滤波器 | 第57-59页 |
| 3.4.7 测试电路和数据采集装置 | 第59-60页 |
| 3.4.8 灵敏度系数标定 | 第60-62页 |
| 3.5 两种信号提取型电路的优缺点对比 | 第62-64页 |
| 3.5.1 定片提取信号型 | 第62-63页 |
| 3.5.2 动片提取信号型 | 第63页 |
| 3.5.3 应用性建议 | 第63-64页 |
| 3.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 4 总结和展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 附录 | 第72页 |