| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-24页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 微型振动能量采集器国内外研究现状 | 第9-21页 |
| 1.2.1 微型电磁式振动能量采集器 | 第9页 |
| 1.2.2 微型静电式振动能量采集器 | 第9-14页 |
| 1.2.3 微型压电式振动能量采集器 | 第14-18页 |
| 1.2.4 微型静电-压电复合式振动能量采集器国内外研究现状 | 第18-21页 |
| 1.3 研究意义和研究内容 | 第21-22页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第21-22页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第22页 |
| 1.4 本章小结 | 第22-24页 |
| 2 微型振动能量采集器工作原理与数学模型建立 | 第24-44页 |
| 2.1 微型振动能量采集器的结构及工作原理 | 第24-31页 |
| 2.1.1 工作原理 | 第25-27页 |
| 2.1.2 简化模型 | 第27-31页 |
| 2.2 理论模型的建立及分析 | 第31-43页 |
| 2.2.1 压电能量采集器的数学模型 | 第31-34页 |
| 2.2.2 静电能量采集器的数学模型 | 第34-37页 |
| 2.2.3 耦合能量采集器的数学模型 | 第37-43页 |
| 2.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 3 微型振动能量采集器的仿真分析 | 第44-58页 |
| 3.1 宏尺寸能量采集器的数学模型分析及有限元分析 | 第44-51页 |
| 3.1.1 宏尺寸能量采集器的数学模型分析 | 第44-47页 |
| 3.1.2 宏尺寸能量采集器的有限元分析 | 第47-51页 |
| 3.2 MEMS采集器的数学模型分析及有限元分析 | 第51-55页 |
| 3.2.1 MEMS振动采集器的数学模型分析 | 第51-52页 |
| 3.2.2 MEMS振动采集器的有限元仿真分析 | 第52-55页 |
| 3.3 耦合电路PSPICE仿真 | 第55-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 4 宏尺寸原理样机实验验证 | 第58-72页 |
| 4.1 宏尺寸原理样机设计与研制 | 第58-60页 |
| 4.1.1 基座制备 | 第58-59页 |
| 4.1.2 静电电极制备 | 第59页 |
| 4.1.3 压电悬臂梁 | 第59-60页 |
| 4.1.4 微组装 | 第60页 |
| 4.2 宏尺寸原理样机性能测试及分析 | 第60-71页 |
| 4.2.1 振动测试平台 | 第60-62页 |
| 4.2.2 纯压电工作模式性能分析 | 第62-67页 |
| 4.2.3 压电-静电耦合工作模式性能分析 | 第67-71页 |
| 4.3 本章小结 | 第71-72页 |
| 5 微型振动能量采集器的MEMS工艺设计 | 第72-82页 |
| 5.1 关键工艺介绍 | 第72-77页 |
| 5.1.1 刻蚀工艺 | 第72-74页 |
| 5.1.2 AlN压电薄膜生长工艺 | 第74-77页 |
| 5.2 工艺流程设计 | 第77-79页 |
| 5.3 耦合器件的组装设计 | 第79-80页 |
| 5.4 本章小结 | 第80-82页 |
| 6 总结与展望 | 第82-84页 |
| 6.1 总结 | 第82页 |
| 6.2 展望 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 附录 | 第90页 |
| A作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第90页 |