| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-25页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第15-16页 |
| 1.2 近场微波扫描显微术的国内外研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3 关于材料的概述 | 第18-19页 |
| 1.4 介电常数的主要测量方法 | 第19-22页 |
| 1.5 论文选题来源与结构安排 | 第22-25页 |
| 第二章 近场内样品和空气中的电场分布研究 | 第25-45页 |
| 2.1 近场理论基础 | 第25-26页 |
| 2.2 近场内针尖-样品模型建立 | 第26-29页 |
| 2.2.1 准静态电磁场 | 第26-28页 |
| 2.2.2 在准静态理论下对近场内探针-样品物理模型的抽象 | 第28-29页 |
| 2.3 像电荷法计算近场内电场分布 | 第29-40页 |
| 2.3.1 球面镜像法 | 第29-31页 |
| 2.3.2 介质平面镜像法 | 第31-34页 |
| 2.3.3 近场等效中的镜像问题 | 第34-40页 |
| 2.4 MATLAB对近场内电场成像 | 第40-44页 |
| 2.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 用COMSOL软件验证近场电势分布 | 第45-53页 |
| 3.1 电磁场的数值计算方法 | 第45-46页 |
| 3.2 COMSOL中的有限元算法 | 第46-48页 |
| 3.3 仿真过程及结果 | 第48-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 近场微波扫描显微测量平台的测量原理研究 | 第53-63页 |
| 4.1 近场内探针-样品的集总电路等效模型 | 第53-54页 |
| 4.2 测量平台的测量方法 | 第54-56页 |
| 4.3 测量原理与测量平台的校准 | 第56-62页 |
| 4.3.1 针尖-样品等效模型与反射系数的关系 | 第56-58页 |
| 4.3.2 利用标准样品校准测量平台 | 第58-60页 |
| 4.3.3 利用电容电导校准 | 第60-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 近场探针设计与仿真 | 第63-79页 |
| 5.1 近场微波探针概述 | 第63-64页 |
| 5.2 HFSS软件的功能概述 | 第64-65页 |
| 5.3 用HFSS仿真近场探头 | 第65-77页 |
| 5.3.1 同轴探针的近场内电场分布仿真 | 第66-70页 |
| 5.3.2 同轴探针的理论公式的仿真验证 | 第70-72页 |
| 5.3.3 金垫大小不同时测量反射参数 | 第72-76页 |
| 5.3.4 不同探针对材料介电常数的仿真结果 | 第76-77页 |
| 5.4 本章小结 | 第77-79页 |
| 第六章 总结与展望 | 第79-81页 |
| 6.1 总结 | 第79页 |
| 6.2 展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
| 作者简介 | 第87-88页 |