| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 表面工程技术 | 第11-13页 |
| 1.2.1 表面工程技术的意义及其分类 | 第11-12页 |
| 1.2.2 表面工程技术在模具上的应用及其发展趋势 | 第12-13页 |
| 1.3 硬质涂层 | 第13-17页 |
| 1.3.1 硬质涂层的发展及其研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3.2 硬质涂层的定义 | 第14-15页 |
| 1.3.3 硬质涂层的分类 | 第15-16页 |
| 1.3.4 硬质涂层的生长机理 | 第16-17页 |
| 1.3.5 硬质涂层的制备 | 第17页 |
| 1.4 磁控溅射技术 | 第17-22页 |
| 1.4.1 磁控溅射镀膜的发展及研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4.2 磁控溅射镀膜的基本原理 | 第18-19页 |
| 1.4.3 闭合非平衡磁控溅射镀膜技术 | 第19-21页 |
| 1.4.4 影响非平衡磁控溅射涂层质量的因素 | 第21-22页 |
| 1.5 本文研究目的及主要工作内容 | 第22-24页 |
| 1.5.1 研究CrNiTiN涂层的意义及其目的 | 第22页 |
| 1.5.2 本文主要工作内容 | 第22-24页 |
| 第2章 实验过程及测试方法 | 第24-34页 |
| 2.1 实验过程 | 第24-28页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第24-25页 |
| 2.1.2 试样的预处理 | 第25-26页 |
| 2.1.3 涂层的制备工艺 | 第26-28页 |
| 2.2 涂层的成分、结构及形貌表征 | 第28-30页 |
| 2.2.1 涂层的形貌测试 | 第28页 |
| 2.2.2 涂层的成分测试 | 第28-29页 |
| 2.2.3 涂层的XPS能谱测试 | 第29页 |
| 2.2.4 涂层的相结构测试 | 第29-30页 |
| 2.3 涂层的力学性能表征 | 第30-34页 |
| 2.3.1 涂层的厚度测试 | 第30页 |
| 2.3.2 涂层的显微硬度测试 | 第30-31页 |
| 2.3.3 涂层的膜/基结合力测试 | 第31页 |
| 2.3.4 涂层的摩擦磨损性能测试 | 第31-34页 |
| 第3章 涂层的成分、结构及形貌分析 | 第34-42页 |
| 3.1 涂层的形貌分析 | 第34-35页 |
| 3.2 涂层的成分分析 | 第35-36页 |
| 3.3 涂层的化学态分析 | 第36-39页 |
| 3.4 涂层的相结构分析 | 第39-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 涂层的力学性能分析 | 第42-56页 |
| 4.1 涂层的厚度分析 | 第42-43页 |
| 4.1.1 基体的氮化层厚度 | 第42页 |
| 4.1.2 氮化对涂层厚度的影响 | 第42-43页 |
| 4.2 涂层的显微硬度分析 | 第43-47页 |
| 4.2.1 CrNiTiN涂层的显微硬度测试 | 第43-45页 |
| 4.2.2 氮化对CrNiTiN涂层显微硬度的影响 | 第45-46页 |
| 4.2.3 基体硬度对CrNiTiN涂层显微硬度的影响 | 第46-47页 |
| 4.3 CrNiTiN涂层的膜/基结合力分析 | 第47-50页 |
| 4.3.1 涂层与基体结合强度的评价标准 | 第47-49页 |
| 4.3.2 氮化对涂层膜/基结合力的影响 | 第49-50页 |
| 4.4 涂层的摩擦磨损性能 | 第50-55页 |
| 4.4.1 氮化对涂层的摩擦性能的影响 | 第51-52页 |
| 4.4.2 氮化对涂层的磨损性能的影响 | 第52页 |
| 4.4.3 基体硬度对摩擦性能的影响 | 第52-53页 |
| 4.4.4 载荷对摩擦性能的影响 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 结论与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 结论 | 第56-57页 |
| 5.2 展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第64页 |
