| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 课题国内外研究现状 | 第11-19页 |
| 1.2.1 基于压电薄膜工艺微能量采集器的研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 基于压电厚膜工艺微能量采集器的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.3 升频式微能量采集器的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3 课题来源及主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 压电式微能量采集器的理论研究 | 第21-34页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 压电换能的理论研究 | 第21-27页 |
| 2.2.1 压电效应 | 第21-23页 |
| 2.2.2 压电材料 | 第23-27页 |
| 2.3 压电振子的理论研究 | 第27-29页 |
| 2.4 碰撞式升频机制的理论研究 | 第29-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 升频式压电厚膜微能量采集器的方案设计 | 第34-42页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 悬臂梁的结构设计 | 第34-37页 |
| 3.2.1 低频悬臂梁的结构设计 | 第34-35页 |
| 3.2.2 高频压电厚膜悬臂梁的结构设计 | 第35-37页 |
| 3.3 升频式压电厚膜微能量采集器结构参数优化 | 第37-39页 |
| 3.4 升频式压电厚膜微能量采集器结构设计 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 压电厚膜微能量采集器的工艺开发 | 第42-58页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 压电厚膜微能量采集器MEMS工艺流程设计 | 第42-44页 |
| 4.3 基本工艺介绍 | 第44-52页 |
| 4.4 压电厚膜微能量采集器的制备流程 | 第52-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 压电厚膜微能量采集器的实验测试 | 第58-69页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 压电厚膜微能量采集器封装与测试平台搭建 | 第58-60页 |
| 5.2.1 压电厚膜微能量采集器封装 | 第58-59页 |
| 5.2.2 测试平台搭建 | 第59-60页 |
| 5.3 高频压电厚膜悬臂梁实验测试 | 第60-62页 |
| 5.4 升频式压电厚膜微能量采集器的实验测试 | 第62-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 总结 | 第69-70页 |
| 6.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-79页 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |