| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 MEMS概述 | 第11页 |
| 1.2 MEMS的特点 | 第11页 |
| 1.3 MEMS制造工艺 | 第11-13页 |
| 1.3.1 表面微机械加工技术 | 第12页 |
| 1.3.2 体硅微加工技术 | 第12-13页 |
| 1.3.3 LIGA技术 | 第13页 |
| 1.4 MEMS的发展历史和现状 | 第13-15页 |
| 1.4.1 MEMS的发展历史 | 第13-14页 |
| 1.4.2 MEMS国内外发展现状 | 第14-15页 |
| 1.5 MEMS的应用 | 第15-17页 |
| 1.5.1 光学MEMS | 第15页 |
| 1.5.2 生物医学MEMS | 第15-16页 |
| 1.5.3 射频MEMS | 第16-17页 |
| 1.6 MEMS谐振器概述 | 第17-18页 |
| 1.7 MEMS谐振器发展 | 第18-21页 |
| 1.7.1 梳状谐振器 | 第18-19页 |
| 1.7.2 梁式谐振器 | 第19页 |
| 1.7.3 圆盘谐振器 | 第19页 |
| 1.7.4 圆环谐振器 | 第19-20页 |
| 1.7.5 平板谐振器 | 第20-21页 |
| 1.8 本文主要研究内容及工作安排 | 第21-23页 |
| 第2章 MEMS盘式谐振器结构及工作原理 | 第23-33页 |
| 2.1 本章引言 | 第23页 |
| 2.2 径向振动模式盘谐振器 | 第23-28页 |
| 2.2.1 谐振频率 | 第25-26页 |
| 2.2.2 有效质量 | 第26-27页 |
| 2.2.3 运动电阻 | 第27页 |
| 2.2.4 品质因数 | 第27-28页 |
| 2.3 酒杯振动模式盘谐振器 | 第28-30页 |
| 2.3.1 工作原理 | 第28-29页 |
| 2.3.2 谐振频率 | 第29-30页 |
| 2.4 等效电路模型 | 第30-31页 |
| 2.5 电气刚度引起的频率牵引 | 第31-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 MEMS阵列耦合谐振器及性能影响分析 | 第33-42页 |
| 3.1 本章引言 | 第33页 |
| 3.2 盘谐振器耦合阵列 | 第33-37页 |
| 3.2.1 工作原理 | 第33-35页 |
| 3.2.2 品质因数Q值理论推导 | 第35-36页 |
| 3.2.3 谐振器阵列对Q值的影响 | 第36-37页 |
| 3.2.4 谐振器阵列降低运动电阻 | 第37页 |
| 3.3 MEMS阵列耦合谐振器排列方式对其性能影响分析 | 第37-40页 |
| 3.4 耦合梁宽度对MEMS阵列耦合谐振器性能影响分析 | 第40-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 MEMS阵列耦合谐振器设计与制造 | 第42-50页 |
| 4.1 本章引言 | 第42页 |
| 4.2 MEMS阵列耦合谐振器结构版图设计 | 第42-47页 |
| 4.2.1 衬底结构层 | 第44-45页 |
| 4.2.2 电极结构层 | 第45页 |
| 4.2.3 阵列耦合谐振器硅结构层 | 第45-47页 |
| 4.3 制造工艺 | 第47-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 DRIE工艺下的倾斜效应对盘式耦合谐振滤波器的影响分析 | 第50-61页 |
| 5.1 本章引言 | 第50页 |
| 5.2 伸张模式耦合梁 | 第50-51页 |
| 5.2.1 边缘倾斜的耦合梁模型 | 第51页 |
| 5.3 倾斜效应对双圆盘耦合谐振滤波器性能的影响 | 第51-55页 |
| 5.4 中心半高耦合梁双圆盘谐振滤波器 | 第55-56页 |
| 5.5 仿真结果与分析 | 第56-60页 |
| 5.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第6章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 论文总结 | 第61-62页 |
| 6.2 论文的不足与展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 附录 | 第69页 |
