基于FPGA的单频激光干涉仪信号处理方法研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9页 |
| 1 绪论 | 第15-22页 |
| 1.1 激光干涉测量技术概述 | 第15-20页 |
| 1.1.1 激光干涉测量技术发展状况 | 第15-16页 |
| 1.1.2 激光干涉测量技术的国内外现状 | 第16页 |
| 1.1.3 激光干涉仪测量方法 | 第16-20页 |
| 1.2 课题来源与研究意义 | 第20页 |
| 1.3 论文研究主要内容 | 第20-22页 |
| 2 单频激光干涉仪硬件电路设计 | 第22-33页 |
| 2.1 干涉信号调理电路 | 第22-26页 |
| 2.1.1 调理电路元件选型 | 第22-24页 |
| 2.1.2 信号调理电路设计 | 第24-26页 |
| 2.2 AD转换电路 | 第26-28页 |
| 2.2.1 AD转换电路元件选型 | 第26-27页 |
| 2.2.2 AD转换电路设计 | 第27-28页 |
| 2.3 FPGA数字信号处理电路 | 第28-32页 |
| 2.3.1 FPGA数字信号处理电路元件选型 | 第28-29页 |
| 2.3.2 FPGA数字信号处理电路设计 | 第29-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 基于FPGA的信号处理算法设计 | 第33-51页 |
| 3.1 FPGA信号处理方案设计 | 第33页 |
| 3.2 干涉信号误差修正 | 第33-41页 |
| 3.2.1 干涉信号误差源分析 | 第33-35页 |
| 3.2.2 信号误差修正方法比较 | 第35-38页 |
| 3.2.3 基于FPGA的误差修正算法设计 | 第38-41页 |
| 3.3 干涉信号细分 | 第41-49页 |
| 3.3.1 干涉信号常用细分方法 | 第41-43页 |
| 3.3.2 相位细分计数 | 第43-49页 |
| 3.4 整周期计数 | 第49-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 4 实验系统仿真与调试 | 第51-61页 |
| 4.1 单频激光干涉仪测量系统搭建 | 第51-54页 |
| 4.1.1 单频激光干涉仪光路结构 | 第51-52页 |
| 4.1.2 FPGA硬件测试系统 | 第52-53页 |
| 4.1.3 FPGA信号处理卡 | 第53-54页 |
| 4.1.4 信号调理电路 | 第54页 |
| 4.2 基于FPGA的误差修正算法验证 | 第54-57页 |
| 4.3 小数计数模块验证 | 第57-58页 |
| 4.4 整周期计数模块验证 | 第58页 |
| 4.5 干涉测量系统对比实验结果 | 第58-60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 总结与展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第66-67页 |
