甚长波热释电红外探测器吸收膜系的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 引言 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状及趋势 | 第12-14页 |
| 1.3 主要研究内容及工作安排 | 第14-15页 |
| 第二章 热释电红外探测器工作原理 | 第15-23页 |
| 2.1 热释电效应 | 第15-17页 |
| 2.2 热释电红外探测器工作原理 | 第17-20页 |
| 2.3 热释电红外探测器的主要性能参数 | 第20-21页 |
| 2.4 热释电红外探测器噪声特性 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 热释电红外探测器吸收膜系的设计与仿真 | 第23-39页 |
| 3.1 热释电探测器红外吸收仿真 | 第23-32页 |
| 3.1.1 吸收模型及吸收率分析计算 | 第23-25页 |
| 3.1.2 红外波段吸收仿真分析 | 第25-32页 |
| 3.2 热释电红外探测器热学仿真分析 | 第32-36页 |
| 3.3 热释电红外探测器力学仿真分析 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 热释电红外探测器吸收膜系的制备及优化 | 第39-48页 |
| 4.1 吸收膜系的制备 | 第39-43页 |
| 4.1.1 工艺设备 | 第39-40页 |
| 4.1.2 不同吸收层材料的吸收性能对比 | 第40-43页 |
| 4.2 TFN溶液腐蚀NiCr金属吸收层 | 第43-44页 |
| 4.3 膜系吸收层的表征 | 第44-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第五章 热释电红外探测器性能测试 | 第48-61页 |
| 5.1 热释电探测器制备工艺流程 | 第48-49页 |
| 5.2 热释电探测器的响应电压测试 | 第49-52页 |
| 5.3 热释电探测器的噪声测试 | 第52-54页 |
| 5.4 热释电红外探测器主要性能指标计算 | 第54-58页 |
| 5.4.1 响应率计算结果 | 第54-55页 |
| 5.4.2 探测率D*计算结果 | 第55-56页 |
| 5.4.3 等效噪声功率(NEP)计算结果 | 第56-58页 |
| 5.5 热释电探测器时间常数的测试 | 第58-60页 |
| 5.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-64页 |
| 6.1 工作总结 | 第61-62页 |
| 6.2 展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第69页 |
