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基于机械剥离石墨烯FET结构探测器的制备与掺杂研究

摘要第5-6页
abstract第6-7页
第一章 绪论第10-25页
    1.1 石墨烯的结构和基本特性第10-14页
    1.2 石墨烯应用的研究现状及发展趋势第14-18页
        1.2.1 石墨烯场效应晶体管第15-17页
        1.2.2 石墨烯其他应用第17-18页
    1.3 石墨烯场效应晶体管的结构和原理第18-20页
        1.3.1 GFET器件的结构第18-19页
        1.3.2 GFET器件的原理第19-20页
    1.4 石墨烯结合量子点材料制成高灵敏光电探测器第20-23页
    1.5 本文的研究内容与意义第23-25页
第二章 石墨烯的制备及表征第25-35页
    2.1 石墨烯的制备方法和原理介绍第25-28页
        2.1.1 机械剥离法第25-26页
        2.1.2 化学气相沉积(CVD)法第26-27页
        2.1.3 SiC外延生长法第27页
        2.1.4 氧化还原法第27-28页
    2.2 机械剥离法单层石墨烯的制备和定位第28-30页
    2.3 石墨烯的表征第30-33页
        2.3.1 金相显微镜表征第31页
        2.3.2 拉曼光谱表征第31-33页
    2.4 本章小结第33-35页
第三章 石墨烯场效应晶体管的制备及特性研究第35-51页
    3.1 石墨烯FET的制备第35-41页
        3.1.1 机械剥离石墨烯FET的制备工艺第35-39页
        3.1.2 CVD石墨烯FET的制备工艺第39-41页
    3.2 电学特性研究及电学参数计算第41-47页
        3.2.1 石墨烯电阻特性研究第42-43页
        3.2.2 双极型I_d-V_g曲线第43-46页
        3.2.3 单极型I_d-V_g曲线第46-47页
    3.3 GFET表面掺杂研究第47-49页
        3.3.1 氨水溶液对GFET电学特性的影响第47-48页
        3.3.2 氨水溶液浓度对GFET电学特性的影响第48-49页
    3.4 本章小结第49-51页
第四章 量子点-石墨烯混合型探测器光响应特性研究第51-60页
    4.1 CuInS_2/ZnS量子点材料简介第51-52页
    4.2 CuInS_2/ZnS量子点与CVD石墨烯混合型器件研究第52-55页
    4.3 CuInS_2/ZnS量子点与机械剥离石墨烯混合型器件研究第55-59页
    4.4 本章小结第59-60页
第五章 全文总结与展望第60-62页
    5.1 全文总结第60-61页
    5.2 后续工作展望第61-62页
致谢第62-63页
参考文献第63-67页
攻读硕士学位期间取得的成果第67页

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