| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第18-34页 |
| 1.1 传感器 | 第18-26页 |
| 1.1.1 磁传感器 | 第19-20页 |
| 1.1.2 磁阻式磁传感器 | 第20页 |
| 1.1.3 霍尔式磁传感器 | 第20-26页 |
| 1.2 十字型水平霍尔传感器 | 第26-28页 |
| 1.3 垂直型霍尔传感器 | 第28-30页 |
| 1.4 有限元分析软件COMSOL Multiphysics | 第30-32页 |
| 1.5 研究思路 | 第32页 |
| 1.6 论文架构 | 第32-34页 |
| 第2章 十字形水平霍尔器件 | 第34-44页 |
| 2.1 水平霍尔器件版图设计 | 第34-35页 |
| 2.2 十字形水平霍尔器件封装 | 第35-37页 |
| 2.3 十字形水平霍尔器件测试 | 第37-38页 |
| 2.4 十字形水平霍尔器件测试结果与性能分析 | 第38-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第3章 五电极垂直霍尔器件 | 第44-67页 |
| 3.1 有限元分析软件COMSOL | 第44-48页 |
| 3.1.1 参数 | 第45页 |
| 3.1.2 几何 | 第45-46页 |
| 3.1.3 材料 | 第46-47页 |
| 3.1.4 物理场 | 第47页 |
| 3.1.5 网格 | 第47-48页 |
| 3.1.6 研究与结果 | 第48页 |
| 3.2 仿真参数设定 | 第48-49页 |
| 3.2.1 器件几何参数对五电极垂直霍尔器件性能的影响 | 第48页 |
| 3.2.2 器件工艺参数对五电极垂直霍尔器件性能的影响 | 第48-49页 |
| 3.3 五电极垂直霍尔器件版图设计 | 第49-50页 |
| 3.4 五电极垂直霍尔器件封装 | 第50-52页 |
| 3.5 五电极垂直霍尔器件测试 | 第52页 |
| 3.6 仿真结果分析 | 第52-64页 |
| 3.6.1 结构参数对五电极垂直霍尔器件性能的影响 | 第52-60页 |
| 3.6.2 工艺参数对五电极垂直霍尔器件性能的影响 | 第60-64页 |
| 3.7 器件流片实测结果 | 第64-65页 |
| 3.8 本章小结 | 第65-67页 |
| 第4章 三电极垂直霍尔器件 | 第67-75页 |
| 4.1 三电极垂直霍尔器件仿真 | 第67-69页 |
| 4.2 三电极垂直霍尔器件仿真结果分析 | 第69-74页 |
| 4.3 本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 总结与展望 | 第75-78页 |
| 5.1 总结 | 第75-77页 |
| 5.2 展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 硕士期间科研成果 | 第88-90页 |
