高密度键合XY平台控制系统设计与实现
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题背景、目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第9-18页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 定位平台控制系统设计 | 第19-30页 |
| 2.1 高密度键合平台需求分析 | 第19-21页 |
| 2.2 定位平台控制系统设计 | 第21-27页 |
| 2.3 动作流程 | 第27-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 伺服系统的建模与仿真分析 | 第30-41页 |
| 3.1 直线电机的工作原理与基本结构 | 第30-32页 |
| 3.2 XY 定位平台数学建模 | 第32-35页 |
| 3.3 定位平台三环控制器设计 | 第35-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 自适应控制器设计与仿真 | 第41-52页 |
| 4.1 自适应 PID 控制器结构 | 第41-42页 |
| 4.2 自适应 PID 控制器的设计 | 第42-47页 |
| 4.3 自适应 PID 控制器仿真与分析 | 第47-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 定位平台控制系统实现与实验研究 | 第52-64页 |
| 5.1 高密度倒装键合平台介绍 | 第52-54页 |
| 5.2 位置环 PID 控制系统的实现 | 第54-59页 |
| 5.3 模糊自适应控制器的实验与分析 | 第59-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 总结 | 第64-65页 |
| 6.2 展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 1 硕士期间发表论文及申请专利目录 | 第71页 |
