| CONTENTS | 第6-9页 |
| 摘要 | 第9-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第13-24页 |
| 1.1 气体放电等离子体 | 第13-14页 |
| 1.2 大气压气体放电 | 第14-20页 |
| 1.2.1 介质阻挡放电 | 第15-17页 |
| 1.2.2 脉冲放电 | 第17-18页 |
| 1.2.3 容性射频放电 | 第18-20页 |
| 1.3 大气压射频氦氧放电 | 第20-22页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 描述射频氦氧放电的流体模型及其计算方法 | 第24-40页 |
| 2.1 大气压射频气体放电的流体模型 | 第24-27页 |
| 2.2 大气压射频氦氧放电的流体模型 | 第27-36页 |
| 2.2.1 以电流为输入参数的流体模型 | 第27-32页 |
| 2.2.2 以电压为输入参数的流体模型 | 第32-35页 |
| 2.2.3 脉冲调制的流体模型 | 第35-36页 |
| 2.4 数值求解算法 | 第36-39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 大气压射频氦氧放电活性粒子的特性研究 | 第40-60页 |
| 3.1 固定功率密度下的射频氦氧放电特性 | 第41-52页 |
| 3.1.1 射频氦氧放电的电气特性 | 第41-42页 |
| 3.1.2 激发态氧原子(O(~1D))的演化机制 | 第42-44页 |
| 3.1.3 基态氧原子(O)的演化机制 | 第44-48页 |
| 3.1.4 臭氧(O_3)的演化机制 | 第48-49页 |
| 3.1.5 SDO的演化机制 | 第49-52页 |
| 3.2 固定电压下的射频氦氧放电特性 | 第52-56页 |
| 3.2.1 射频氦氧放电的电气特性 | 第52-54页 |
| 3.2.2 活性成分的变化趋势 | 第54-56页 |
| 3.3 电压幅值对活性成分的影响 | 第56-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第四章 放电参数对大气压射频氦氧放电特性的影响 | 第60-73页 |
| 4.1 电源频率对大气压射频氦氧放电特性的影响 | 第60-65页 |
| 4.1.1 电源频率及氧气加入量对击穿电压的影响 | 第60-62页 |
| 4.1.2 电源频率对活性成分的影响 | 第62-64页 |
| 4.1.3 电源频率对氧气加入量最优值的影响 | 第64-65页 |
| 4.2 放电间隙对大气压射频氦氧放电特性的影响 | 第65-72页 |
| 4.2.1 放电间隙对击穿电压的影响 | 第65-66页 |
| 4.2.2 放电间隙对活性成分的影响 | 第66-71页 |
| 4.2.3 放电间隙对最优氧气加入量的影响 | 第71-72页 |
| 4.3 本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 脉冲调制对放电稳定性及活性成分的影响 | 第73-89页 |
| 5.1 脉冲调制对纯氦气放电特性的影响 | 第73-82页 |
| 5.1.1 脉冲调制的电气特性 | 第73-75页 |
| 5.1.2 调制频率及占空比的影响 | 第75-80页 |
| 5.1.3 输入电压幅值的影响 | 第80-82页 |
| 5.2 脉冲调制对射频氦氧放电特性的影响 | 第82-87页 |
| 5.2.1 调制频率及占空比的影响 | 第82-85页 |
| 5.2.2 氧气加入量及调制频率的影响 | 第85-87页 |
| 5.3 本章小结 | 第87-89页 |
| 第六章 结论与展望 | 第89-92页 |
| 6.1 结论 | 第89-91页 |
| 6.2 展望 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第100-101页 |
| 附件 | 第101页 |