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基于流体动力润滑效应的双转弹性发射加工技术研究

摘要第10-11页
ABSTRACT第11页
第一章 绪论第12-24页
    1.1 课题来源与研究背景第12-13页
        1.1.1 课题来源第12页
        1.1.2 研究背景第12-13页
    1.2 国内外研究现状第13-22页
        1.2.1 超光滑表面加工方法第13-16页
        1.2.2 弹性发射加工技术研究现状第16-21页
        1.2.3 弹性发射加工的局限性第21-22页
    1.3 论文研究主要内容第22-24页
第二章 双转弹性发射加工装置设计第24-36页
    2.1 设计指标和性能参数计算第24-28页
        2.1.1 设计指标第24-25页
        2.1.2 性能参数计算第25-28页
    2.2 抛光系统介绍第28-29页
        2.2.1 抛光装置介绍第28-29页
        2.2.2 多轴运动平台介绍第29页
    2.3 关键部件选型与静力学分析第29-34页
        2.3.1 关键部件选型第29-31页
        2.3.2 关键位置静力学分析第31-34页
    2.4 工艺稳定性验证第34-35页
    2.5 本章小结第35-36页
第三章 双转弹性发射加工机理及仿真第36-53页
    3.1 抛光间隙作用机制分析第36-43页
        3.1.1 抛光间隙对剪切力作用建模及仿真第36-38页
        3.1.2 车削刀纹对剪切力作用建模第38-41页
        3.1.3 径向跳动对剪切力作用建模第41-43页
    3.2 自转转速作用机制分析第43-47页
        3.2.1 自转转速对材料去除效率作用建模第43-46页
        3.2.2 自转转速对弹性域去除作用建模第46-47页
    3.3 公转转速作用机制分析第47-50页
        3.3.1 公转作用下的流场仿真第48-50页
        3.3.2 公转转速对剪切力作用建模及仿真第50页
    3.4 去除函数特性的实验验证第50-51页
    3.5 本章小结第51-53页
第四章 超光滑表面加工工艺参数优化第53-65页
    4.1 工艺参数优化策略第53页
    4.2 关键工艺参数优化第53-59页
        4.2.1 抛光间隙优化第53-56页
        4.2.2 自转转速优化第56-58页
        4.2.3 公转转速优化第58-59页
    4.3 石英玻璃的超光滑加工实例第59-61页
    4.4 其他材料的超光滑加工实例第61-63页
        4.4.1 微晶玻璃的超光滑加工实例第61-62页
        4.4.2 单晶硅的超光滑加工实例第62-63页
    4.5 本章小结第63-65页
第五章 总结与展望第65-67页
    5.1 全文总结第65-66页
    5.2 研究展望第66-67页
致谢第67-70页
参考文献第70-75页
作者在学期间取得的学术成果第75页

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