| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 引言 | 第7-12页 |
| 1.1 扫描电子显微镜(SEM)的发展与应用领域 | 第7-9页 |
| 1.1.1 电子显微镜的发展 | 第7-8页 |
| 1.1.2 扫描电子显微镜的应用领域 | 第8-9页 |
| 1.2 选题的意义 | 第9-10页 |
| 1.3 本论文主要研究内容及论文安排 | 第10-12页 |
| 1.3.1 论文的主要研究内容 | 第10页 |
| 1.3.2 论文主要安排 | 第10-12页 |
| 第二章 扫描原理及扫描线圈的设计 | 第12-20页 |
| 2.1 扫描原理 | 第12-15页 |
| 2.1.1 图像的分解及扫描 | 第12-13页 |
| 2.1.2 放大倍数 | 第13-14页 |
| 2.1.3 图像清晰度 | 第14-15页 |
| 2.2 扫描线圈的设计 | 第15-20页 |
| 2.2.1 扫描线圈匝数初始设定 | 第15-17页 |
| 2.2.2 扫描线圈的绕制 | 第17-18页 |
| 2.2.3 绕制扫描线圈时要注意的问题 | 第18-19页 |
| 2.2.4 扫描线圈的功能验证 | 第19-20页 |
| 第三章 扫描系统硬件设计 | 第20-33页 |
| 3.1 扫描分辨率调节电路 | 第21-24页 |
| 3.1.1 扫描分辨率调节电路 | 第21页 |
| 3.1.2 数模转换器LTC1668的介绍 | 第21-23页 |
| 3.1.3 运放OPA2134的介绍 | 第23-24页 |
| 3.2 放大倍数调整电路 | 第24-29页 |
| 3.2.1 扫描幅度控制电路 | 第24-28页 |
| 3.2.2 数模转换器AD5447的介绍 | 第28-29页 |
| 3.3 扫描偏移调整电路 | 第29页 |
| 3.4 加法电路 | 第29-30页 |
| 3.5 D/A芯片设计注意事项 | 第30页 |
| 3.6 基于FPGA的图像数据存储传输 | 第30-33页 |
| 3.6.1 Xilinx FPGA的选择 | 第31页 |
| 3.6.2 数据流传输FIFO的应用 | 第31-33页 |
| 第四章 系统软件及相关算法设计 | 第33-44页 |
| 4.1 FPGA扫描控制软件设计及算法改进 | 第33-39页 |
| 4.1.1 STM32与FPGA联动控制扫描电镜行场扫描 | 第33-37页 |
| 4.1.2 FPGA独立控制行扫描行消隐的改进算法 | 第37-38页 |
| 4.1.3 FPGA行扫描锯齿波起始点的调整 | 第38-39页 |
| 4.2 上位机显示界面应用程序相关功能设计 | 第39-44页 |
| 4.2.1 上位机界面需求分析 | 第39-42页 |
| 4.2.2 扫描成像系统参数调整模块 | 第42-44页 |
| 第五章 扫描系统调试结果及分析 | 第44-53页 |
| 5.1 FPGA行场扫描测试 | 第44-46页 |
| 5.1.1 FPGA独立控制行扫描行消隐波形图 | 第44-45页 |
| 5.1.2 FPGA控制的场扫描测试结果 | 第45-46页 |
| 5.2 放大倍数的校正 | 第46-49页 |
| 5.3 图像显示结果的问题分析 | 第49-53页 |
| 第六章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 总结 | 第53-54页 |
| 6.2 展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57页 |