| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 波前检测技术研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 径向剪切干涉国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 径向剪切干涉原理 | 第17-29页 |
| 2.1 径向剪切干涉的光学原理 | 第17-20页 |
| 2.2 径向剪切比对径向剪切干涉影响分析 | 第20-23页 |
| 2.2.1 径向剪切比对径向剪切干涉条纹的影响 | 第20-22页 |
| 2.2.2 径向剪切比与相对灵敏度的关系 | 第22-23页 |
| 2.3 径向剪切干涉图预处理 | 第23-28页 |
| 2.3.1 干涉图像滤波 | 第24-26页 |
| 2.3.2 干涉图样二值化 | 第26-27页 |
| 2.3.3 干涉条纹细化 | 第27页 |
| 2.3.4 干涉条纹标记 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 径向剪切干涉波面的拟合方法研究 | 第29-55页 |
| 3.1 Zernike 多项式 | 第29-31页 |
| 3.2 最小二乘法的 Zernike 多项式拟合 | 第31-38页 |
| 3.2.1 最小二乘法 | 第31-33页 |
| 3.2.2 最小二乘法波面拟合 | 第33-38页 |
| 3.3 Gram-Schimdt 正交法的 Zernike 多项式拟合 | 第38-44页 |
| 3.3.1 Gram-Schimdt 正交化法 | 第39-40页 |
| 3.3.2 Gram-Schimdt 正交法波面拟合 | 第40-44页 |
| 3.4 Householder 变换法的 Zernike 多项式拟合 | 第44-50页 |
| 3.4.1 Householder 变换法 | 第44-45页 |
| 3.4.2 Householder 变换法波面拟合 | 第45-50页 |
| 3.5 拟合结果分析 | 第50-52页 |
| 3.6 径向剪切干涉波面拟合 | 第52-54页 |
| 3.7 本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 基于迭代算法的波前重建 | 第55-63页 |
| 4.1 波前重建的迭代算法 | 第55-57页 |
| 4.2 迭代复原算法仿真 | 第57-60页 |
| 4.3 迭代算法波前重建 | 第60-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 径向剪切干涉非球面检测系统仿真 | 第63-74页 |
| 5.1 非球面检测的光学系统设计 | 第63-70页 |
| 5.1.1 激光扩束系统设计 | 第64-67页 |
| 5.1.2 分光棱镜设计 | 第67页 |
| 5.1.3 望远系统设计 | 第67-69页 |
| 5.1.4 成像系统设计 | 第69-70页 |
| 5.2 补偿器设计 | 第70页 |
| 5.3 非球面面形检测仿真 | 第70-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
