基于电容传感器的微小孔径测量系统研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状和发展趋势 | 第10-21页 |
| 1.3 课题研究主要内容 | 第21-22页 |
| 1.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 2 基于电容传感器的微小孔径测量原理 | 第23-32页 |
| 2.1 基于电容传感器的微小孔径测量系统构成 | 第23-24页 |
| 2.2 基于电容传感器的测头工作原理 | 第24页 |
| 2.3 电容式传感器的测量原理及测头灵敏度计算 | 第24-29页 |
| 2.3.1 变极距型电容传感器 | 第25-26页 |
| 2.3.2 变面积型电容传感器 | 第26页 |
| 2.3.3 变介电常数型电容传感器 | 第26-27页 |
| 2.3.4 测头灵敏度计算 | 第27-29页 |
| 2.4 微小孔径测量方案 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 基于电容传感器的微小孔径测头系统力学模型 | 第32-42页 |
| 3.1 单位载荷法介绍 | 第32-33页 |
| 3.2 测头在横向负载下的力学特性 | 第33-40页 |
| 3.2.1 测杆任意位置偏移位移的计算 | 第34页 |
| 3.2.2 弹簧引起的测杆偏移位移量计算 | 第34-40页 |
| 3.3 测头与被测表面间接触力的影响 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 基于电容传感器的微小孔径测头系统结构设计 | 第42-58页 |
| 4.1 基于电容传感器的测头结构设计要求 | 第42-44页 |
| 4.1.1 测针的设计要求 | 第42-43页 |
| 4.1.2 测杆的设计要求 | 第43页 |
| 4.1.3 弹簧联轴器的设计要求 | 第43页 |
| 4.1.4 测头支架的设计要求 | 第43-44页 |
| 4.2 基于电容传感器的测头结构设计 | 第44-47页 |
| 4.2.1 测针设计 | 第44-45页 |
| 4.2.2 弹簧联轴器及其定位结构设计 | 第45-46页 |
| 4.2.3 测头支架设计 | 第46页 |
| 4.2.4 测杆设计 | 第46-47页 |
| 4.3 测头结构参数优化 | 第47-57页 |
| 4.3.1 测头结构有限元分析 | 第47-50页 |
| 4.3.2 测头结构参数的优化仿真 | 第50-53页 |
| 4.3.3 田口参数实验优化 | 第53-56页 |
| 4.3.4 理论分析与仿真分析的一致性 | 第56-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 基于电容传感器的孔径测量系统实验研究 | 第58-71页 |
| 5.1 实验系统构成 | 第58-63页 |
| 5.1.1 测头的粗定位 | 第59-60页 |
| 5.1.2 测头的精确定位 | 第60-61页 |
| 5.1.3 电容传感器系统的选型及电容探头排布 | 第61-63页 |
| 5.2 基于电容传感器的测头性能测试 | 第63-68页 |
| 5.2.1 稳定性实验 | 第63-65页 |
| 5.2.2 重复性实验 | 第65-66页 |
| 5.2.3 分辨力实验 | 第66-68页 |
| 5.2.4 预行程分析 | 第68页 |
| 5.3 孔径测量实验 | 第68-70页 |
| 5.4 测量误差分析 | 第70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 6 结论与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 结论 | 第71页 |
| 6.2 展望 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第79页 |
