| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题提出的背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 薄膜材料热物性及其测试研究现状 | 第11-17页 |
| 1.3 3ω方法测试薄膜热导率研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 论文的主要工作 | 第18-19页 |
| 2 3ω方法的基本原理和实验系统的组建 | 第19-27页 |
| 2.1 经典3ω方法测试原理 | 第19-21页 |
| 2.1.1 三次谐波电压 | 第19-20页 |
| 2.1.2 测试原理 | 第20-21页 |
| 2.2 加热器的设计与制备 | 第21-23页 |
| 2.3 测试系统组建 | 第23-26页 |
| 2.3.1 电流源与电压源 | 第23-24页 |
| 2.3.2 测试系统框图 | 第24-25页 |
| 2.3.3 测试系统简介 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 基于3ω方法体态硅及硅基底上氧化硅薄膜热导率测试研究 | 第27-36页 |
| 3.1 测试原理 | 第27-28页 |
| 3.2 测试方法 | 第28-32页 |
| 3.2.1 测试样品的制备及其几何参数测量 | 第29-30页 |
| 3.2.2 实验测量与数据分析 | 第30-32页 |
| 3.3 测试结果 | 第32-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 基于3ω方法金属薄膜热导率测试研究 | 第36-42页 |
| 4.1 测试原理 | 第36-38页 |
| 4.1.1 一维传热模型 | 第36-37页 |
| 4.1.2 二维传热模型 | 第37-38页 |
| 4.2 测试方法 | 第38页 |
| 4.3 测试结果 | 第38-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 5 基于3ω方法气体热导率测试研究 | 第42-49页 |
| 5.1 测试原理 | 第42-44页 |
| 5.2 测试方法 | 第44-45页 |
| 5.3 测试结果 | 第45-47页 |
| 5.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |