| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 选题依据与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本文主要研究内容及创新点 | 第15-17页 |
| 2 基于LabVIEW可编程金属刻蚀系统设计 | 第17-32页 |
| 2.1 可编程金属刻蚀系统结构设计 | 第17-19页 |
| 2.2 可编程金属刻蚀电源监控程序设计 | 第19-28页 |
| 2.2.1 可编程金属刻蚀电源方案总体设计 | 第19-20页 |
| 2.2.2 恒压刻蚀电源监控程序设计 | 第20-24页 |
| 2.2.3 脉冲刻蚀电源监控程序设计 | 第24-26页 |
| 2.2.4 扩展波形刻蚀电源监控程序设计 | 第26-28页 |
| 2.3 电化学刻蚀系统辅助功能设计 | 第28-30页 |
| 2.3.1 恒温及温度监控系统设计 | 第28-30页 |
| 2.3.2 光辅照及光强度监控系统设计 | 第30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 3 钼基微纳阵列传感器衬底的制备、表征及应用研究 | 第32-52页 |
| 3.1 基于LabVIEW可编程金属刻蚀电源方案设计 | 第32-33页 |
| 3.2 实验试剂与设备 | 第33页 |
| 3.3 钼片预处理 | 第33-34页 |
| 3.4 金属钼刻蚀前期研究 | 第34-37页 |
| 3.4.1 钼片自然腐蚀 | 第34-35页 |
| 3.4.2 钼片恒压刻蚀 | 第35-36页 |
| 3.4.3 钼片脉冲电压刻蚀 | 第36-37页 |
| 3.5 基于LabVIEW可编程金属钼刻蚀实验研究 | 第37-41页 |
| 3.5.1 不同硝酸浓度的实验研究 | 第37-38页 |
| 3.5.2 不同硝酸银浓度的实验研究 | 第38-40页 |
| 3.5.3 不同温度的实验研究 | 第40-41页 |
| 3.5.4 不同刻蚀时间的实验研究 | 第41页 |
| 3.6 钼基微纳阵列的表征 | 第41-47页 |
| 3.6.1 SEM表征 | 第41-45页 |
| 3.6.2 EDS测试 | 第45-46页 |
| 3.6.3 XPS测试 | 第46-47页 |
| 3.7 钼基微纳阵列传感器衬底的电荷存储性能研究 | 第47-50页 |
| 3.7.1 实验平台搭建 | 第47-48页 |
| 3.7.2 循环伏安测试（CV） | 第48-50页 |
| 3.8 本章小结 | 第50-52页 |
| 4 MoO_3微纳阵列电极半导体乙醇气敏传感器应用研究 | 第52-63页 |
| 4.1 气敏测试装置 | 第52-57页 |
| 4.1.1 气敏测试系统的搭建 | 第52-54页 |
| 4.1.2 电源控制与信号采集设计 | 第54-55页 |
| 4.1.3 MCH工作温度的确定及乙醇浓度配置方案 | 第55-57页 |
| 4.2 气敏测试实验 | 第57-62页 |
| 4.2.1 灵敏度测试 | 第57-59页 |
| 4.2.2 线性度测试 | 第59-60页 |
| 4.2.3 检测限测试 | 第60-61页 |
| 4.2.4 传感器性能对比 | 第61-62页 |
| 4.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 5 Pd-Mo微纳复合电极对乙醇电化学敏感性能测试 | 第63-79页 |
| 5.1 Pd-Mo微纳复合电极的制备及表征 | 第63-67页 |
| 5.1.1 Pd-Mo微纳复合电极制备 | 第63-65页 |
| 5.1.2 Pd-Mo微纳复合电极表征 | 第65-67页 |
| 5.2 Pd-Mo微纳复合电极对乙醇电化学敏感特性 | 第67-72页 |
| 5.2.1 乙醇敏感性测试系统 | 第67页 |
| 5.2.2 乙醇敏感性电化学分析 | 第67-72页 |
| 5.3 Pd-Mo微纳复合电极电化学式乙醇传感器 | 第72-77页 |
| 5.3.1 电化学窗口的选择 | 第72-74页 |
| 5.3.2 电极电化学稳定性测试 | 第74-75页 |
| 5.3.3 传感器灵敏度测试 | 第75-77页 |
| 5.3.4 传感器性能对比 | 第77页 |
| 5.4 本章小结 | 第77-79页 |
| 结论 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-86页 |
| 攻读硕士学位期间学术成果情况 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
