压电主动控制气浮支承的结构设计与特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题背景与意义 | 第9-11页 |
| 1.3 国内外相关研究现状 | 第11-16页 |
| 1.4 主要研究内容及章节安排 | 第16-18页 |
| 2 主动气浮支承基本结构设计 | 第18-27页 |
| 2.1 主动气浮支承总体方案 | 第18页 |
| 2.2 主动气浮支承压电元件的分布与安装 | 第18-21页 |
| 2.3 主动气浮支承主要参数及确定方法 | 第21-25页 |
| 2.4 主动气浮支承主体部分的结构设计 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 主动气浮支承的有限元分析 | 第27-36页 |
| 3.1 主动气浮支承模型的建立 | 第27-29页 |
| 3.2 结构变形分析 | 第29-34页 |
| 3.3 主动气浮支承模态分析 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 主动气浮支承测试实验 | 第36-49页 |
| 4.1 试验目的及意义 | 第36页 |
| 4.2 主动气浮支承变形实验 | 第36-45页 |
| 4.3 主动气浮支承模态实验 | 第45-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 总结与展望 | 第49-51页 |
| 5.1 全文总结 | 第49页 |
| 5.2 研究展望 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
