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β-Ga2O3纳/微米结构的可控生长与特性研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
引言第9-10页
1 β-Ga_2O_3基本性质及研究进展第10-20页
    1.1 β-Ga_2O_3的结构特性第10-11页
    1.2 β-Ga_2O_3的光学特性第11页
    1.3 β-Ga_2O_3的电学特性第11-12页
    1.4 β-Ga_2O_3的气敏特性第12页
    1.5 β-Ga_2O_3材料的应用第12-13页
        1.5.1 电致发光器件第12页
        1.5.2 紫外探测器第12页
        1.5.3 气体探测器第12-13页
        1.5.4 功率半导体器件第13页
    1.6 β-Ga_2O_3纳米材料的研究进展第13-18页
    1.7 本文研究的主要内容第18-20页
2 β-Ga_2O_3纳米材料的制备方法和表征手段第20-27页
    2.1 β-Ga_2O_3纳米材料的制备方法第20-22页
        2.1.1 化学气相沉积法第20页
        2.1.2 脉冲激光沉积法第20-21页
        2.1.3 水热法第21页
        2.1.4 射频磁控溅射法第21-22页
    2.2 β-Ga_2O_3纳米材料的表征技术第22-27页
        2.2.1 扫描电子显微镜(SEM)第22-24页
        2.2.2 透射电子显微镜(TEM)第24页
        2.2.3 X射线衍射法(XRD)第24-25页
        2.2.4 光致发光(PL)第25-26页
        2.2.5 吸收光谱第26-27页
3 生长温度对图形化蓝宝石衬底上 β-Ga_2O_3微米带特性的影响第27-35页
    3.1 实验过程第27-28页
    3.2 样品的表面形貌第28-29页
    3.3 样品的结构分析第29-31页
    3.4 微米带的生长机理第31-32页
    3.5 微米带的光学特性第32-34页
    3.6 小结第34-35页
4 外电场辅助CVD法制备网格状 β-Ga_2O_3纳米线第35-42页
    4.1 样品的制备第35-36页
    4.2 样品的表面形貌第36-38页
    4.3 样品的生长机理第38-39页
    4.4 样品的晶体结构第39-40页
    4.5 样品的吸收光谱第40-41页
    4.6 小结第41-42页
结论第42-43页
参考文献第43-48页
攻读硕士学位期间取得的成果第48-49页
致谢第49页

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