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纳米集成电路单粒子瞬变中电荷收集机理及加固方法研究

摘要第1-10页
ABSTRACT第10-11页
第一章 绪论第11-24页
   ·单粒子效应概述第11-13页
     ·单粒子效应机理和加固方法研究的需求迫切第11-12页
     ·单粒子效应类型第12-13页
   ·国内外研究现状与不足第13-22页
     ·单粒子效应中的电荷收集第13-14页
     ·电荷收集对SET的影响第14-16页
     ·电荷共享效应对SET加固的影响第16-17页
     ·DTMOS技术对单粒子效应的影响第17-18页
     ·三阱工艺对单粒子效应的影响第18-20页
     ·SOI工艺对单粒子效应的影响第20-21页
     ·相关研究存在的不足第21-22页
   ·本文的主要内容第22页
   ·本文的组织结构第22-24页
第二章 DTMOS技术对SET及电荷收集的影响第24-40页
   ·引言第24页
   ·相关研究与不足第24-25页
   ·器件建模与模拟设置第25-26页
   ·模拟结果与分析第26-36页
     ·DTMOS技术对SET电压脉冲的影响第26-29页
     ·DTMOS技术对SET电流脉冲的影响第29-31页
     ·DTMOS技术对敏感节点电荷收集的影响第31-34页
     ·DTMOS技术对P-hit情况的影响第34-36页
   ·DTMOS技术加固性能评估第36-39页
   ·本章小结第39-40页
第三章 三阱工艺中影响SET及电荷收集的关键因素分析第40-55页
   ·引言第40页
   ·相关研究与不足第40-41页
   ·器件建模与模拟设置第41-42页
   ·模拟结果与分析第42-54页
     ·入射粒子LET值对SET电压脉冲的影响第42-44页
     ·入射粒子LET值对电荷收集的影响第44-48页
     ·入射粒子LET值对双极放大效应触发速度的影响第48-51页
     ·入射粒子LET值对双极放大效应强弱的影响第51-52页
     ·P阱掺杂浓度对电荷收集的影响第52-53页
     ·深N阱掺杂浓度对电荷收集的影响第53-54页
   ·本章小结第54-55页
第四章 SOI MOSFET中SET解析模型改进第55-65页
   ·引言第55页
   ·相关研究与不足第55-56页
   ·器件建模与模拟设置第56-57页
   ·SOI MOSFET瞬态电流脉冲SET第57-58页
   ·SET电流脉冲解析模型改进第58-64页
     ·已有的SET电流脉冲解析模型第58-61页
     ·改进的SET电流脉冲解析模型第61-64页
   ·本章小结第64-65页
第五章 总结与展望第65-67页
   ·本文工作总结第65页
   ·工作展望第65-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-73页
作者在学期间取得的学术成果第73页

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