基于DMD的数字光刻技术研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第1章 绪论	第10-21页
·研究背景	第10页
·无掩模光刻技术的研究现状	第10-14页
·基于DMD的数字光刻的研究现状	第14-20页
·论文的主要内容	第20-21页
第2章 基于DMD的数字光刻系统	第21-39页
·系统的总体架构	第21-22页
·前端照明系统	第22-29页
·数字微镜器件(DMD)	第29-31页
·投影光刻物镜	第31-33页
·光刻系统的曝光模式	第33-37页
·本章小结	第37-39页
第3章 DMD的衍射特性	第39-52页
·DMD的衍射模型	第39-42页
·衍射特性的测量与仿真	第42-44页
·DMD衍射特性在光刻系统中的应用	第44-50页
·本章小结	第50-52页
第4章 系统误差的分析与校正	第52-68页
·照明不均匀性的分析与校正	第52-56页
·光刻物镜的畸变	第56-60页
·机械系统的误差	第60-64页
·系统误差的校正	第64-66页
·本章小结	第66-68页
第5章 总结与展望	第68-69页
·总结	第68页
·展望	第68-69页
参考文献	第69-74页
在学期间学术成果情况	第74-75页
指导教师及作者简介	第75-76页
致谢	第76页