| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·研究背景与意义 | 第9页 |
| ·本课题的研究进展 | 第9-13页 |
| ·基于SEM的半导体缺陷检测设备中控制系统的现状及存在问题 | 第9-10页 |
| ·现场控制总线 | 第10-13页 |
| ·本文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 基于SEM的半导体缺陷检测设备中控制系统分析 | 第15-29页 |
| ·引言 | 第15-16页 |
| ·基于SEM的半导体缺陷检测设备中控制系统 | 第16-20页 |
| ·控制系统的构成 | 第16-17页 |
| ·控制系统中典型模组分析 | 第17-18页 |
| ·设备对CAN总线控制系统的要求 | 第18-20页 |
| ·CAN总线技术 | 第20-28页 |
| ·CAN总线概述 | 第20-21页 |
| ·CAN总线的信息协议格式 | 第21-26页 |
| ·CAN总线的错误处理机制 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 CAN总线控制系统的硬件设计 | 第29-43页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·CAN总线控制系统连接方案和实现要点 | 第29-31页 |
| ·CAN总线控制系统连接方案 | 第29-30页 |
| ·CAN总线控制系统实现要点 | 第30-31页 |
| ·CAN总线控制器和驱动器 | 第31-36页 |
| ·控制器的介绍 | 第32-34页 |
| ·驱动器的介绍 | 第34-36页 |
| ·CAN总线中心节点的电路设计 | 第36-40页 |
| ·中心节点的功能需求分析及设计框图 | 第36-37页 |
| ·CAN通讯电路设计 | 第37-39页 |
| ·PCI-E通讯电路设计 | 第39-40页 |
| ·CAN总线终端节点的电路设计 | 第40-42页 |
| ·终端节点的功能需求分析及设计框图 | 第40-41页 |
| ·CAN总线通讯电路和控制电路设计 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 CAN总线控制系统的软件设计 | 第43-55页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·基于CANOpen协议的节点通讯协议设计 | 第43-50页 |
| ·CANOpen协议简介 | 第43-45页 |
| ·节点通讯协议的程序设计 | 第45-50页 |
| ·CAN节点的软件设计 | 第50-53页 |
| ·中心节点程序设计 | 第50-52页 |
| ·终端节点程序设计 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 控制系统的测试和分析 | 第55-59页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·测试任务的设置 | 第55-56页 |
| ·测试目的 | 第55页 |
| ·测试条件 | 第55-56页 |
| ·测试过程 | 第56-58页 |
| ·测试总结 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 结论与展望 | 第59-61页 |
| ·论文工作总结 | 第59-60页 |
| ·未来工作展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 个人简历、在学期间发表的论文与研究成果 | 第65页 |