低迟滞气压传感器及采集系统设计
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·气压传感器及采集系统的研究意义 | 第8页 |
| ·气压传感器的迟滞误差 | 第8-10页 |
| ·本文的主要工作 | 第10-12页 |
| 第二章 基础理论 | 第12-26页 |
| ·电容式传感器的工作原理 | 第12-13页 |
| ·硅膜的弹性分析 | 第13-16页 |
| ·传感器迟滞问题模型 | 第16-17页 |
| ·三种传热方式 | 第17-19页 |
| ·热传导 | 第17-18页 |
| ·热对流与对流换热 | 第18页 |
| ·热辐射 | 第18-19页 |
| ·计算流体动力学基础 | 第19-26页 |
| ·流体的分类 | 第20-22页 |
| ·流体流动的分类 | 第22-26页 |
| 第三章 低迟滞MEMS气压传感器设计分析 | 第26-54页 |
| ·低迟滞MEMS气压传感器的结构设计与工作原理 | 第26-29页 |
| ·传感器结构 | 第26-27页 |
| ·传感器工作原理 | 第27-28页 |
| ·减小迟滞误差的方法需解决的问题 | 第28-29页 |
| ·有限元分析 | 第29-35页 |
| ·有限元分析法 | 第29-31页 |
| ·ANSYS简介 | 第31页 |
| ·ANSYS的分析步骤 | 第31-35页 |
| ·传感器的结构静力及稳态热仿真分析 | 第35-44页 |
| ·建模及材料属性设定 | 第35-38页 |
| ·网格划分 | 第38-39页 |
| ·仿真结果及分析 | 第39-44页 |
| ·计算流体动力学软件FLUENT | 第44-46页 |
| ·计算流体动力学设计及分析 | 第46-51页 |
| ·材料参数的定义及边界条件 | 第46-48页 |
| ·空腔内气体的动力学分析 | 第48-51页 |
| ·加热气体方案的可行性分析 | 第51-54页 |
| 第四章 采集系统硬件设计 | 第54-72页 |
| ·采集系统硬件结构 | 第54-55页 |
| ·主控模块设计 | 第55-57页 |
| ·单片机 | 第56页 |
| ·ARM处理器 | 第56-57页 |
| ·数据采集模块 | 第57-62页 |
| ·数模转换原理概述 | 第57-58页 |
| ·电容测量模块 | 第58-61页 |
| ·温度测量模块 | 第61-62页 |
| ·系统通讯及时钟模块 | 第62-67页 |
| ·AD5422芯片通讯模块 | 第62-64页 |
| ·RS232串口通讯模块 | 第64-65页 |
| ·负载调制模块 | 第65-66页 |
| ·时钟模块 | 第66-67页 |
| ·显示控制及数据保存模块 | 第67-72页 |
| ·VFD示模块 | 第67-69页 |
| ·控制模块 | 第69-70页 |
| ·数据存储模块 | 第70-72页 |
| 第五章 采集系统软件设计 | 第72-80页 |
| ·软件组成 | 第72页 |
| ·主程序模块 | 第72-73页 |
| ·数据采集处理模块 | 第73-76页 |
| ·信息通讯及保存模块 | 第76-77页 |
| ·屏幕显示及按键控制模块 | 第77-78页 |
| ·测试数据 | 第78-80页 |
| 第六章 结论与展望 | 第80-84页 |
| ·结论 | 第80-82页 |
| ·低迟滞MEMS电容式气压传感器 | 第80-81页 |
| ·数据采集系统 | 第81-82页 |
| ·展望 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 致谢 | 第88-90页 |
| 个人简介 | 第90页 |
