基于硅波导的新型光学压力传感器研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 本文主要名词英汉对照 | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| ·研究背景 | 第11-23页 |
| ·压阻式压力传感器 | 第11-12页 |
| ·电容式压力传感器 | 第12-13页 |
| ·谐振式压力传感器 | 第13-14页 |
| ·光学压力传感器 | 第14-23页 |
| ·研究内容及创新点 | 第23-24页 |
| ·论文的结构和组织 | 第24-26页 |
| 第二章 理论基础 | 第26-39页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·压力传感器薄膜的理论原理 | 第26-33页 |
| ·矩形薄膜的理论原理 | 第26-30页 |
| ·圆形薄膜的理论原理 | 第30-32页 |
| ·复合板薄膜的理论原理 | 第32-33页 |
| ·光波导的理论原理 | 第33-38页 |
| ·直波导的耦合原理 | 第33-34页 |
| ·环形波导的耦合原理 | 第34-36页 |
| ·布拉格波导的耦合原理 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 环形波导光学压力传感器机械特性的研究 | 第39-47页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·环形波导光学压力传感器的结构 | 第39-40页 |
| ·环形波导光学压力传感器机械特性的分析 | 第40-46页 |
| ·环形波导光学压力传感器环形薄膜的形变分析 | 第40-41页 |
| ·环形波导光学压力传感器环形薄膜的形变模拟 | 第41-44页 |
| ·环形波导光学压力传感器环形波导的形变模拟 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 环形波导光学压力传感器光学特性的研究 | 第47-66页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·环形波导光学压力传感器的光学特性的分析 | 第47-52页 |
| ·环形波导光学压力传感器的光学原理 | 第47-49页 |
| ·环形波导光学压力传感器光学特性的数值模拟 | 第49-52页 |
| ·环形波导光学压力传感器的工艺 | 第52-60页 |
| ·环形波导光学压力传感器的工艺流程 | 第52-60页 |
| ·环形波导光学压力传感器的测试 | 第60-63页 |
| ·环形波导光学压力传感器的测试系统 | 第60-61页 |
| ·环形波导光学压力传感器的测试结果 | 第61-63页 |
| ·环形波导光学压力传感器的矩阵结构 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 布拉格光学压力传感器的研究 | 第66-79页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·布拉格光学压力传感器的结构 | 第66-67页 |
| ·布拉格光学压力传感器机械特性的分析 | 第67-72页 |
| ·布拉格光学压力传感器环形薄膜的形变分析 | 第68-69页 |
| ·布拉格光学压力传感器方形薄膜的形变模拟 | 第69-71页 |
| ·布拉格光学压力传感器布拉格结构的形变模拟 | 第71-72页 |
| ·布拉格光学压力传感器光学特性的分析 | 第72-74页 |
| ·布拉格光学压力传感器的实验结果 | 第74-78页 |
| ·布拉格光学压力传感器的工艺 | 第74-76页 |
| ·布拉格光学压力传感器的测试系统 | 第76-77页 |
| ·布拉格光学压力传感器的测试结果 | 第77-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 总结与展望 | 第79-82页 |
| ·总结 | 第79-81页 |
| ·展望 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-93页 |
| 博士期间论文发表情况 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
