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多层衍射光学元件衍射效率的研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-16页
第一章 绪论第16-31页
   ·衍射光学技术的发展概述第16-18页
   ·衍射光学元件的主要加工方法第18-21页
   ·衍射光学元件的应用第21-24页
   ·衍射光学元件的分析模型第24-25页
   ·本课题的研究内容与目标第25-26页
 参考文献第26-31页
第二章 衍射光学元件的成像性质第31-64页
   ·衍射光学的标量衍射理论第31-33页
     ·基尔霍夫衍射理论第31-32页
     ·标量衍射理论的局限性第32-33页
   ·衍射光学元件的设计第33-34页
     ·衍射光学元件的设计原理第33页
     ·衍射光学元件的成像光学系统模型第33-34页
   ·衍射光学元件的高折射率模型第34-37页
   ·多级位相光栅的衍射效率分析第37-41页
     ·光栅与位相光栅的概念第37-38页
     ·位相光栅衍射效率公式的推导第38-41页
   ·单层衍射光学元件的衍射效率第41-44页
     ·连续位相结构的衍射光学元件的衍射效率表达式第42-43页
     ·有限带宽的衍射光学元件的衍射效率表达式第43-44页
   ·入射角度对单层衍射光学元件衍射效率的影响第44-49页
     ·光束斜入射时单层衍射光学元件的衍射效率表达式第44-46页
     ·光束斜入射时单层衍射光学元件的衍射效率分析第46-49页
   ·衍射光学元件的色散特性第49-53页
     ·衍射光学元件的光焦度第49-50页
     ·衍射光学元件的色散性质第50-51页
     ·折衍射混合光学系统的消色差和复消色差第51-53页
   ·衍射光学元件的消热差特性第53-56页
     ·折射元件的热阿贝数第53-54页
     ·衍射光学元件的热阿贝数第54-55页
     ·折衍射混合光学系统的消热差第55-56页
   ·衍射光学元件的冷反射特性第56-59页
   ·衍射光学元件的初级像差特性第59-61页
   ·小结第61-62页
 参考文献第62-64页
第三章 多层衍射光学元件的衍射效率特性第64-85页
   ·谐衍射光学元件的特性第64-68页
     ·谐衍射光学元件的设计理论第64-66页
     ·谐衍射光学元件的衍射效率第66-67页
     ·谐衍射光学元件的色散特性第67-68页
   ·多层衍射光学元件的衍射效率第68-71页
     ·多层衍射光学元件的结构形式第68-69页
     ·多层衍射光学元件的设计原理第69-71页
     ·多层衍射光学元件斜入射的衍射效率第71页
   ·双层衍射光学元件斜入射的衍射效率第71-76页
     ·双层衍射光学元件的衍射效率与入射角度的关系第71-74页
     ·双层衍射光学元件的衍射效率与入射方向的关系第74-76页
   ·三层衍射光学元件斜入射的衍射效率第76-83页
     ·三层衍射光学元件的衍射效率与入射方向的关系第76-78页
     ·三层衍射光学元件的衍射效率与基底材料选择的关系第78-80页
     ·三层衍射光学元件的衍射效率与中间介质材料选择的关系第80-83页
   ·小结第83-84页
 参考文献第84-85页
第四章 加工误差对衍射光学元件衍射效率的影响第85-99页
   ·加工误差对单层衍射光学元件衍射效率的影响第85-91页
     ·单层衍射光学元件的微结构高度误差对衍射效率的影响第85-86页
     ·单层衍射光学元件的周期宽度误差对衍射效率的影响第86-88页
     ·单层衍射光学元件的环带过渡区域表面倾斜对衍射效率的影响第88-91页
   ·加工误差对多层衍射光学元件衍射效率的影响第91-97页
     ·多层衍射光学元件的相对微结构高度误差相等时对衍射效率的影响第91-93页
     ·多层衍射光学元件的相对微结构高度误差相反时对衍射效率的影响第93-94页
     ·多层衍射光学元件的周期宽度误差对衍射效率的影响第94-95页
     ·多层衍射光学元件的加工误差对衍射效率的影响第95-97页
   ·小结第97页
 参考文献第97-99页
第五章 衍射光学元件衍射效率的测量第99-124页
   ·衍射光学元件衍射效率的测量原理第99-102页
     ·衍射光学元件衍射效率的测量原理及方法第99-100页
     ·衍射光学元件衍射效率测量的实验装置框图第100-101页
     ·一级衍射能量的修正第101-102页
   ·衍射光学元件衍射效率的测量装置第102-105页
     ·光源第102页
     ·分光镜第102页
     ·显微物镜和空间滤波器第102-103页
     ·平行光管第103页
     ·光功率计第103-104页
     ·针孔光阑第104-105页
   ·衍射光学元件衍射效率的实验测量方法第105-107页
     ·衍射光学元件衍射效率的实验测量装置第105-106页
     ·衍射光学元件衍射效率的测量步骤第106-107页
   ·衍射光学元件衍射效率测量结果的处理方法第107-109页
     ·一级衍射光能量的测量第107-108页
     ·总能量的测量第108页
     ·测量结果的分析方法第108-109页
   ·单层衍射光学元件衍射效率的测量第109-113页
     ·单层衍射光学元件衍射效率的测量结果第110-111页
     ·单层衍射光学元件衍射效率的测量结果与理论计算结果的对比第111页
     ·单层衍射光学元件的带宽积分平均衍射效率第111-112页
     ·单层衍射光学元件斜入射衍射效率的测量结果第112-113页
   ·多层衍射光学元件斜入射衍射效率的测量第113-122页
     ·含有多层衍射光学元件的光学系统的设计第113-117页
     ·多层衍射光学元件的加工第117页
     ·多层衍射光学元件衍射效率测量角度的选择第117-119页
     ·多层衍射光学元件衍射效率的测量结果第119-121页
     ·多层衍射光学元件衍射效率的测量结果与理论计算结果的对比第121-122页
   ·小结第122页
 参考文献第122-124页
结论第124-126页
致谢第126-127页
在攻读博士学位期间发表的学术论文和参与的科研项目第127页

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