| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·光束采样光栅 | 第13-17页 |
| ·光束采样光栅的性能指标 | 第13-16页 |
| ·光束采样光栅的制作方法 | 第16-17页 |
| ·国内外研究现状 | 第17-19页 |
| ·选题意义及论文构成 | 第19-22页 |
| ·选题意义 | 第19-20页 |
| ·论文构成 | 第20-22页 |
| 第二章 BSG采样效率均匀性分析 | 第22-32页 |
| ·光栅结构参数对衍射效率影响 | 第22-25页 |
| ·线密度对衍射效率的影响 | 第22-24页 |
| ·槽深和占宽比对衍射效率的影响 | 第24-25页 |
| ·入射光参数对衍射效率影响 | 第25-30页 |
| ·偏振态 | 第25-28页 |
| ·入射角 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 BSG采样效率均匀性提高 | 第32-70页 |
| ·BSG衍射效率检测 | 第32-42页 |
| ·基本光路 | 第33-34页 |
| ·光源的选择 | 第34-35页 |
| ·探测器的选择 | 第35-37页 |
| ·测试光斑尺寸的选择 | 第37-38页 |
| ·测试的重复性 | 第38页 |
| ·光栅基底厚度对效率测试的影响 | 第38-41页 |
| ·结论 | 第41-42页 |
| ·BSG采样效率均匀性修正 | 第42-66页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·抛光实验装置 | 第42-44页 |
| ·抛光方式选择 | 第44-48页 |
| ·抛光工艺参数的优化 | 第48-51页 |
| ·光栅结构参数对衍射效率变化及抛光深度的影响 | 第51-64页 |
| ·抛光对BSG表面粗糙度的影响 | 第64页 |
| ·抛光对BSG面型的影响 | 第64-66页 |
| ·结论 | 第66页 |
| ·大尺寸BSG采样效率均匀性修正结果及分析 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第四章 BSG污染及清洗 | 第70-88页 |
| ·二次离子质谱分析方法 | 第70-72页 |
| ·BSG制备过程引入污染 | 第72-76页 |
| ·全息离子束刻蚀过程引入污染 | 第72-74页 |
| ·采样效率均匀性修正过程引入污染 | 第74-76页 |
| ·湿法清洗去除污染 | 第76-82页 |
| ·SPM清洗 | 第77-78页 |
| ·SC-2清洗 | 第78-79页 |
| ·NPM清洗 | 第79-80页 |
| ·DHF清洗 | 第80-82页 |
| ·阈值相关元素的污染及去除 | 第82-85页 |
| ·本章小结 | 第85-88页 |
| 第五章 BSG激光损伤阈值 | 第88-108页 |
| ·三倍频激光损伤阈值 | 第88-89页 |
| ·三倍频激光损伤阈值测试方式 | 第89页 |
| ·BSG三倍频激光损伤阈值实验条件 | 第89-90页 |
| ·测试仪器设备及状态 | 第90页 |
| ·BSG阈值测试方式 | 第90页 |
| ·BSG三倍频激光损伤阈值实验结果及分析 | 第90-103页 |
| ·1-on-1测试方式下BSG制备工艺对光栅阈值的影响 | 第90-95页 |
| ·1-on-1测试方式下BSG清洗工艺对光栅阈值的影响 | 第95-100页 |
| ·Raster Scan测试方式下BSG清洗工艺对光栅阈值的影响 | 第100-103页 |
| ·存在的问题及后续解决方法 | 第103-106页 |
| ·BSG激光损伤阈值测试 | 第103页 |
| ·DHF清洗对BSG效率均匀性的影响 | 第103-106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 第六章 总结与展望 | 第108-112页 |
| ·论文主要研究内容 | 第108-109页 |
| ·论文创新之处 | 第109-110页 |
| ·有待进一步研究问题 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-122页 |
| 作者攻读博士学位期间发表的论文 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124页 |
