| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| ·铁电存储器 | 第9-12页 |
| ·铁电材料 | 第12-18页 |
| ·铁电材料及其结构 | 第12-13页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第13-14页 |
| ·极化机制及铁电特性 | 第14-16页 |
| ·多铁性材料 | 第16-18页 |
| ·BiFeO_3 及其研究进展 | 第18-20页 |
| ·BiFeO_3 的结构与性能 | 第18-19页 |
| ·BiFeO_3 的研究进展 | 第19-20页 |
| ·研究目的及主要内容 | 第20-22页 |
| 第2章 CSD 法制备铁酸铋铁电薄膜 | 第22-37页 |
| ·铁电薄膜的制备工艺与表征方法 | 第22-30页 |
| ·铁电薄膜制备工艺简介 | 第22-24页 |
| ·实验药品与仪器 | 第24页 |
| ·电极的选取及清洗 | 第24-26页 |
| ·制备BiFeO_3 薄膜的流程 | 第26-27页 |
| ·制备Bi_(3.4)Ce_(0.6)Ti_3O_(12) 薄膜的流程 | 第27-28页 |
| ·薄膜的分析与表征方法 | 第28-30页 |
| ·CSD 法制备BiFeO_3 铁电薄膜的工艺探索 | 第30-36页 |
| ·BiFeO_3 铁电薄膜的前驱体溶液配置方案的确定 | 第31-32页 |
| ·掺杂对BiFeO_3 薄膜铁电性能的影响 | 第32-33页 |
| ·逐层退火对La 掺杂BiFeO_3 薄膜铁电性能的影响 | 第33-35页 |
| ·Bi_(0.9)La_(0.1)Fe_(0.95)Mn1_(0.05)O_3 原粉的热失重分析 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 热处理对La 与Mn 共掺杂BiFeO_3铁电薄膜性能的影响 | 第37-45页 |
| ·不同温度热处理对铁电薄膜性能的影响 | 第37-42页 |
| ·BLFMO 薄膜的结构分析 | 第37-39页 |
| ·BLFMO 薄膜的电学性能 | 第39-42页 |
| ·不同升温速率对铁电薄膜性能的影响 | 第42-44页 |
| ·BLFMO 薄膜的结构分析 | 第42-43页 |
| ·BLFMO 薄膜的电学性能 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 BCT/BLFMO 复合铁电薄膜的性能分析 | 第45-52页 |
| ·Bi_(3.4)Ce_(0.6)Ti_3O_(12) 薄膜及其性能表征 | 第45-48页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·BCT 原粉的热失重分析 | 第45-46页 |
| ·BCT 铁电薄膜的结构分析 | 第46-47页 |
| ·BCT 铁电薄膜的电学性能 | 第47-48页 |
| ·BCT/BLFMO 复合铁电薄膜的性能表征 | 第48-51页 |
| ·BCT/BLFMO 复合薄膜的结构分析 | 第48-49页 |
| ·BCT/BLFMO 复合薄膜的电学性能 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 总结与展望 | 第52-54页 |
| ·总结 | 第52-53页 |
| ·展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文与专利 | 第61页 |
