| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 图清单 | 第11-14页 |
| 表清单 | 第14页 |
| 附表清单 | 第14-15页 |
| 1 引言 | 第15-24页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第15-16页 |
| ·纳米技术的发展状况 | 第16-18页 |
| ·国内外发展现状 | 第18-23页 |
| ·国内外二维纳米定位装置的发展现状 | 第18-21页 |
| ·纳米测量技术的发展现状 | 第21-22页 |
| ·二维纳米测量定位装置的发展趋势 | 第22-23页 |
| ·主要研究内容 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 2 总体方案设计 | 第24-31页 |
| ·二维纳米测量定位装置的设计方案 | 第24-28页 |
| ·定位装置 | 第28-29页 |
| ·测量装置 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 宏微结合的超精密二维定位平台的研究 | 第31-57页 |
| ·微动平台的标定及误差补偿 | 第31-48页 |
| ·实验室环境介绍 | 第32-33页 |
| ·空气弹簧隔振平台 | 第33-34页 |
| ·激光干涉仪的选择及测量误差分析 | 第34-39页 |
| ·微位移平台的标定及曲线拟合 | 第39-48页 |
| ·宏动平台的定位误差建模 | 第48-53页 |
| ·动态误差模型的确定 | 第50-51页 |
| ·灰色预测模型 GM(1,1)的建立 | 第51-53页 |
| ·宏微结合的定位实验 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 4 基于超精密二维定位平台的探测系统设计 | 第57-75页 |
| ·传感器测头的选择 | 第57-62页 |
| ·三种非接触位移传感器功能特点分析 | 第57-60页 |
| ·光谱共焦位移传感器功能特点分析 | 第60-62页 |
| ·装置支架的设计 | 第62-73页 |
| ·悬臂式支架结构的变形机理分析 | 第62-65页 |
| ·悬臂式支架的优化设计 | 第65-68页 |
| ·结构动态特性研究 | 第68-69页 |
| ·悬臂式支架结构动态特性的 Ansys 有限元分析 | 第69-73页 |
| ·电机控制功能的实现 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 5 测量实验与分析 | 第75-97页 |
| ·物体二维尺寸的测量实验 | 第75-86页 |
| ·二维尺寸测量误差分析 | 第75-80页 |
| ·测量过程 | 第80-84页 |
| ·二维尺寸测量系统不确定度评定 | 第84-86页 |
| ·物体表面粗糙度测量实验 | 第86-96页 |
| ·表面粗糙度误差分析 | 第86-90页 |
| ·粗糙度评定基准线的确定 | 第90-91页 |
| ·测量过程 | 第91-94页 |
| ·粗糙度测量不确定度评定 | 第94-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 6 总结与展望 | 第97-99页 |
| ·全文总结 | 第97-98页 |
| ·需要进一步解决的问题 | 第98-99页 |
| 参考文献 | 第99-102页 |
| 附录 A 环境变化导致的综合误差 | 第102-103页 |
| 作者简介 | 第103-104页 |