| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·变温微纳米压痕测试技术 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-21页 |
| ·国外研究现状 | 第14-20页 |
| ·国内研究现状 | 第20-21页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-22页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-22页 |
| ·论文研究的关键问题 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第2章 微纳米压痕测试原理与变温压痕测试的关键技术 | 第23-33页 |
| ·微纳米压痕测试技术的原理 | 第23-26页 |
| ·纳米压痕/刻划测试技术的特点 | 第23-24页 |
| ·微纳米压痕测试的经典力学模型 | 第24-26页 |
| ·金刚石工具头的主要类型及其相关参数 | 第26页 |
| ·精密驱动技术—压电叠堆 | 第26-28页 |
| ·变温压痕测试的关键技术 | 第28-29页 |
| ·测控软件设计分析 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 变温微纳米压痕测试平台的设计分析 | 第33-47页 |
| ·测试平台的整机设计 | 第33-35页 |
| ·压痕测试平台结构原理 | 第33-34页 |
| ·测试平台的整体结构 | 第34-35页 |
| ·关键机械元件的设计分析 | 第35-38页 |
| ·XY 精密定位平台 | 第35页 |
| ·Z 轴运动工作台 | 第35-36页 |
| ·精密驱动加载单元 | 第36-38页 |
| ·精密检测单元设计分析 | 第38-42页 |
| ·位移检测单元 | 第39页 |
| ·载荷检测单元 | 第39-42页 |
| ·加热台设计 | 第42页 |
| ·测试平台的虚拟样机模型与整机有限元分析 | 第42-45页 |
| ·测试平台虚拟样机 | 第42-43页 |
| ·测试平台整机有限元分析 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 测试平台性能的试验分析 | 第47-69页 |
| ·测试平台样机 | 第47-48页 |
| ·精密加载单元输出特性测试 | 第48-49页 |
| ·压电叠堆的迟滞特性试验 | 第49-50页 |
| ·柔性铰链的振动测试 | 第50-52页 |
| ·传感器的标定 | 第52-54页 |
| ·位移传感器的标定分析 | 第52-53页 |
| ·力传感器的标定分析 | 第53-54页 |
| ·典型材料的纳米压痕实验 | 第54-60页 |
| ·测试平台重复性试验 | 第56-57页 |
| ·测试平台的位移控制试验 | 第57-58页 |
| ·改变压头形状对测试结果的影响 | 第58-59页 |
| ·PMMA 材料在变温环境下压痕响应特性 | 第59-60页 |
| ·测试平台机架柔度的校准分析 | 第60-65页 |
| ·误差分析及改进措施 | 第65-67页 |
| ·误差分析 | 第65-66页 |
| ·改进措施 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 第5章 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·总结 | 第69-70页 |
| ·展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 作者简介及攻读硕士学位取得的科研成果 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |