半导体制造中的统计质量控制算法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 研究背景 | 第7-13页 |
| ·课题背景 | 第7-11页 |
| ·研究内容 | 第11-12页 |
| ·论文结构 | 第12-13页 |
| 第2章 文献综述 | 第13-25页 |
| ·统计质量控制简介 | 第13-16页 |
| ·R2R 过程控制模型与算法 | 第16-20页 |
| ·R2R 过程控制算法的基本框架与研究现状 | 第16-18页 |
| ·R2R 过程模型的两类噪音模型 | 第18-19页 |
| ·MIMO 系统的过程模型与 EWMA 控制算法 | 第19-20页 |
| ·多阶段制造过程建模 | 第20-22页 |
| ·基于变异流的多阶段制造过程建模 | 第20-21页 |
| ·基于自回归模型的多阶段制造过程建模 | 第21-22页 |
| ·聚类分析算法 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第3章 基于批次的单阶段过程控制策略 | 第25-32页 |
| ·单阶段批量生产过程的质量变异分析 | 第25-26页 |
| ·基于批次的 R2R 过程复合控制策略 | 第26-27页 |
| ·单阶段制造过程的统计模型 | 第27-28页 |
| ·基于批次的 EWMA 控制算法 | 第28-29页 |
| ·固定批次大小的分批问题建模 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 单阶段过程控制策略的性能分析 | 第32-43页 |
| ·分批算法的性能分析 | 第32-37页 |
| ·MISO 单阶段过程的仿真 | 第37-39页 |
| ·新型控制策略的性能分析 | 第39-41页 |
| ·过程噪音为 IMA 序列时的性能分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 基于批次的多阶段过程控制策略 | 第43-53页 |
| ·多变量单阶段过程的质量变异分析 | 第43-44页 |
| ·多变量单阶段过程模型与控制策略 | 第44-46页 |
| ·多变量多阶段过程的统计模型 | 第46-47页 |
| ·固定批次大小的分批问题 | 第47-50页 |
| ·多变量多阶段过程控制算法 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第6章 多阶段过程控制策略的性能分析 | 第53-66页 |
| ·多阶段制造过程的仿真建模 | 第53-56页 |
| ·多阶段过程控制策略的性能分析 | 第56-59页 |
| ·过程噪音为 IMA 序列时的性能分析 | 第59-61页 |
| ·多阶段过程预测诊断问题的讨论与展望 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第7章 总结与展望 | 第66-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第74页 |
