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集成电路系统级ESD防护研究

致谢第1-6页
摘要第6-8页
Abstract第8-10页
缩略词表第10-12页
目录第12-14页
1 绪论第14-32页
   ·引言第14-16页
   ·静电放电模型第16-22页
     ·人体模型(HBM)第16-17页
     ·机器模型(MM)第17-18页
     ·组件充电模型(CDM)第18-19页
     ·IEC模型第19-22页
   ·典型ESD测试方法第22-29页
     ·HBM和MM测试第23-26页
     ·CDM测试第26-27页
     ·传输线脉冲(TLP)测试第27-29页
   ·集成电路ESD研究现状第29-30页
   ·本论文的主要内容和组织结构第30-32页
2 瞬态电压抑制器(TVS)研究与设计第32-52页
   ·传统瞬态电压抑制器介绍第32-35页
   ·瞬态电压抑制器(TVS)及其阵列研究与设计第35-51页
     ·基于齐纳二极管的瞬态电压抑制器研究第37-47页
     ·多孔道均流的瞬态电压抑制器设计第47-51页
   ·本章小结第51-52页
3 低压CMOS工艺下ESD防护单元研究与设计第52-92页
   ·二极管的ESD防护设计与研究第52-61页
     ·二极管的ESD防护原理第52-55页
     ·二极管的ESD鲁棒性研究第55-61页
   ·MOSFET的ESD防护设计与研究第61-65页
   ·SCR的ESD防护设计与研究第65-91页
     ·SCR的ESD防护原理第66-71页
     ·齐纳辅助触发SCR的ESD防护设计与研究第71-78页
     ·高维持电压LVTSCR的ESD防护设计与研究第78-83页
     ·二极管触发的LVTSCR的ESD防护设计与研究第83-91页
   ·本章小结第91-92页
4 高压工艺下ESD防护单元研究与设计第92-106页
   ·高压SOI工艺下LIGBT的ESD防护设计与研究第92-97页
   ·内嵌SCR结构的LDMOS器件的ESD设计与研究第97-104页
   ·本章小结第104-106页
5 总结与展望第106-108页
参考文献第108-118页
作者简历及在学期间的科研成果第118-120页

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