基于激光干涉原理的二等量块自动测量装置及其评价体系
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·长度计量及量块概述 | 第10-11页 |
| ·本课题的研究背景及意义 | 第11-13页 |
| ·高等级量块检定方法的国内外发展现状 | 第13-15页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 光波干涉原理及激光测长分析 | 第17-22页 |
| ·干涉测长基本原理的分析 | 第17-19页 |
| ·光波干涉原理 | 第17-18页 |
| ·干涉测长仪的基本原理 | 第18-19页 |
| ·干涉测量方法分类及比较 | 第19-20页 |
| ·激光干涉测长对二等量块长度测量的影响 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 技术方案与硬件设计 | 第22-28页 |
| ·技术方案总体设计 | 第22-23页 |
| ·技术方案 | 第22页 |
| ·接触式量块激光干涉仪总体布局 | 第22-23页 |
| ·光路设计 | 第23-24页 |
| ·电路设计 | 第24页 |
| ·环境参数 P、T、F 测量系统 | 第24-27页 |
| ·量块长度测量中环境参数测量的技术要求 | 第24页 |
| ·温度测量对量块长度测量的影响 | 第24-26页 |
| ·常用的测温方法 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第四章 干涉信号分析和测量软件设计 | 第28-44页 |
| ·总体设计要求 | 第28-30页 |
| ·干涉信号分析方法比较 | 第30-33页 |
| ·条纹移相 | 第30-31页 |
| ·硬件计数 | 第31-32页 |
| ·小数软件细分 | 第32-33页 |
| ·测头位移计算 | 第33页 |
| ·小数软件细分算法设计 | 第33-36页 |
| ·八卦限细分 | 第33-34页 |
| ·反正切细分 | 第34-36页 |
| ·软件细分算法的仿真分析 | 第36-41页 |
| ·仿真干涉信号的生成 | 第36-37页 |
| ·光强信号波动引起的影响 | 第37-38页 |
| ·两路信号峰值不相等引起的影响 | 第38-40页 |
| ·两路信号相位不匹配引起的影响 | 第40-41页 |
| ·仿真结果 | 第41页 |
| ·测量控制软件的设计 | 第41-43页 |
| ·主界面 | 第41-42页 |
| ·工具栏 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 二等量块测量系统分析及评价 | 第44-58页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·测量系统分析的理论依据 | 第44-47页 |
| ·测量系统的定义及模型 | 第44页 |
| ·测量系统分析 | 第44-45页 |
| ·测量系统的分类 | 第45页 |
| ·计量型测量系统变差类型 | 第45-46页 |
| ·测量系统的评价指标 | 第46-47页 |
| ·二等量块测量系统分析及评价 | 第47-57页 |
| ·测量系统的分辨力 | 第47-48页 |
| ·稳定性研究 | 第48-49页 |
| ·偏倚研究 | 第49-51页 |
| ·线性研究 | 第51-54页 |
| ·重复性和再现性(GRR)研究 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论与展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 答辩委员会对论文的评定意见 | 第64页 |
