微流控芯片上相变阀的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·微流控芯片 | 第9-10页 |
| ·微阀门 | 第10-12页 |
| ·相变阀 | 第12-15页 |
| ·半导体制冷 | 第15-16页 |
| ·半导体制冷原理 | 第15页 |
| ·半导体制冷概述 | 第15-16页 |
| ·课题研究内容 | 第16-18页 |
| 2 相变阀的理论模型 | 第18-22页 |
| ·研究对象 | 第18页 |
| ·电渗驱动 | 第18-19页 |
| ·压力驱动 | 第19-20页 |
| ·相变原理 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 相变阀的数值模拟 | 第22-38页 |
| ·计算工具 | 第22-23页 |
| ·数值计算对象 | 第23页 |
| ·数值计算 | 第23-37页 |
| ·电渗驱动相变阀工作特性的数值计算 | 第23-29页 |
| ·压力驱动相变阀工作特性的数值计算 | 第29-35页 |
| ·电渗驱动流体温度场分布的数值计算 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 芯片的制作 | 第38-49页 |
| ·芯片的制作工艺 | 第38-39页 |
| ·PMMA材料的制作工艺 | 第38页 |
| ·PDMS材料的制作工艺 | 第38-39页 |
| ·PDMS-玻璃-PMMA芯片的制作 | 第39-44页 |
| ·PDMS-玻璃-PMMA芯片的结构 | 第39-41页 |
| ·PDMS-玻璃-PMMA芯片的制作工艺 | 第41-44页 |
| ·PMMA-PMMA芯片的制作 | 第44-47页 |
| ·侧视芯片的结构 | 第44-45页 |
| ·PMMA-PMMA芯片的制作工艺 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 5 相变阀工作特性的测试 | 第49-57页 |
| ·测试原理 | 第49-51页 |
| ·测试平台 | 第51页 |
| ·测试实验 | 第51-52页 |
| ·实验结果及分析 | 第52-56页 |
| ·电渗驱动方式实验结果及分析 | 第52-54页 |
| ·压力驱动方式实验结果及分析 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
