金属光栅偏振器设计及其工艺仿真

摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
1 绪论	第9-19页
·引言	第9-10页
·金属光栅偏振器	第10-12页
·光栅的历史与应用	第10页
·亚波长光栅的理论分析方法	第10-12页
·选题依据及意义	第12-13页
·微纳光栅制作工艺国内外研究现状	第13-18页
·论文主要工作	第18-19页
2 纳米压印技术的介绍	第19-27页
·纳米压印技术基本原理	第19-22页
·压印模板	第20页
·压印过程	第20-21页
·图形转移	第21-22页
·纳米压印技术的分类	第22-27页
·微接触压印技术	第22-23页
·紫外光型纳米压印技术	第23页
·激光辅助直接压印技术	第23-24页
·光刻结合压印	第24-25页
·各种压印技术分类	第25-27页
3 亚波长金属光栅设计	第27-44页
·严格耦合波理论	第28-29页
·亚波长金属光栅的设计	第29-37页
·光栅材料和面型	第29-30页
·临界周期点分析	第30-33页
·order值的选取	第33页
·亚波长金属光栅设计	第33-37页
·亚波长金属光栅加工误差	第37-44页
·方向误差	第37-40页
·面形误差	第40-44页
4 纳米压印仿真	第44-62页
·热压印中聚合物填充过程的仿真分析	第44-51页
·建立模型	第44-46页
·模拟结果与分析	第46-51页
·降温过程仿真分析	第51-57页
·建立模型	第51-52页
·模拟结果与分析	第52-57页
·热压印中脱模过程的仿真分析	第57-62页
·建立模型	第57-59页
·模拟结果与分析	第59-62页
结论与展望	第62-64页
参考文献	第64-68页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第68-69页
致谢	第69-70页