新型阵列式发光二极管的关键工艺研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| ·研究工作的背景及意义 | 第7页 |
| ·相关研究工作发展状况 | 第7-8页 |
| ·本文的主要工作及内容安排 | 第8-9页 |
| 第二章 阵列式LED的理论基础 | 第9-21页 |
| ·阵列式LED器件的基本原理 | 第9-10页 |
| ·LED的理论基础 | 第9-10页 |
| ·阵列式LED的概念 | 第10页 |
| ·阵列式LED器件的电学隔离 | 第10-11页 |
| ·阵列式LED中隔离槽的必要性 | 第10-11页 |
| ·阵列式LED中隔离槽的实现方法 | 第11页 |
| ·阵列式LED器件的制备工艺 | 第11-15页 |
| ·阵列式LED器件的外延生长 | 第12页 |
| ·阵列式LED器件的管芯工艺 | 第12-15页 |
| ·阵列式LED器件的分析方法 | 第15-19页 |
| ·扫描电镜的原理和应用 | 第15-17页 |
| ·探针台和半导体器件分析仪 | 第17-19页 |
| ·本章小结 | 第19-21页 |
| 第三章 阵列式LED的实验准备 | 第21-31页 |
| ·新型阵列式LED器件结构和功能 | 第21-23页 |
| ·新型阵列式LED器件的结构 | 第21页 |
| ·新型阵列式LED器件的功能和优点 | 第21-23页 |
| ·新型阵列式LED器件的光刻版图 | 第23-26页 |
| ·版图绘制软件L-edit简介 | 第23-24页 |
| ·新型阵列式LED的版图 | 第24-26页 |
| ·新型阵列式LED的总实验方案 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第四章 基于倒装的阵列式LED的关键工艺 | 第31-47页 |
| ·阵列式单元结构可行性的验证 | 第31-37页 |
| ·实验的工艺流程 | 第31-33页 |
| ·实验结果和分析 | 第33-37页 |
| ·阵列式LED隔离槽的实现 | 第37-41页 |
| ·实验的工艺流程 | 第38页 |
| ·实验结果和分析 | 第38-41页 |
| ·倒装阵列式LED的制作流程 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第五章 基于正装的阵列式LED的关键工艺 | 第47-63页 |
| ·介质桥关键工艺的理论研究 | 第47-50页 |
| ·三层光刻胶桥的实验方案 | 第47-49页 |
| ·二氧化硅桥的实验方案 | 第49-50页 |
| ·介质桥关键工艺的实验验证 | 第50-61页 |
| ·三层光刻胶桥实验 | 第50-52页 |
| ·混合桥实验 | 第52-56页 |
| ·二氧化硅桥实验 | 第56-61页 |
| ·介质桥关键工艺的总结 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 结论 | 第63-67页 |
| ·论文成果 | 第63-64页 |
| ·展望 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 作者攻读硕士研究生期间参加的科研项目 | 第73-74页 |
