| 第一章 类金刚石膜概述 | 第1-13页 |
| ·类金刚石膜的结构和分类 | 第6-8页 |
| ·类金刚石膜的性质与应用 | 第8-9页 |
| ·无氢DLC膜的研究进展 | 第9-11页 |
| ·论文的研究内容与意义 | 第11-13页 |
| 第二章 DLC膜的制备与性质测量 | 第13-18页 |
| ·脉冲激光沉积系统与实验工艺 | 第13-14页 |
| ·薄膜性质测试 | 第14-18页 |
| 第三章 不同条件下沉积DLC膜的结构和发光特性 | 第18-36页 |
| ·引言 | 第18-19页 |
| ·激光功率密度对DLC膜结构和光学性质的影响 | 第19-23页 |
| ·衬底温度对DLC膜结构和光学性质的影响 | 第23-28页 |
| ·DLC膜的发光特性 | 第28-32页 |
| ·DLC膜的生长机制 | 第32-35页 |
| 小结 | 第35-36页 |
| 第四章 纳米晶金刚石薄膜的制备与性质 | 第36-47页 |
| ·引言 | 第36-37页 |
| ·氧气氛围中制备纳米晶金刚石薄膜 | 第37-38页 |
| ·纳米晶金刚石薄膜的结构和性质 | 第38-44页 |
| ·氧气在纳米晶金刚石膜生长中的作用机理 | 第44-46页 |
| 小结 | 第46-47页 |
| 全文总结 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-59页 |
| 研究成果 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |