| 第一章 绪论 | 第1-24页 |
| ·课题研究意义 | 第10-11页 |
| ·研究现状 | 第11-23页 |
| ·微机械加速度传感器的国内外研究现状 | 第11-19页 |
| ·传感器阵列的国内外研究现状 | 第19-23页 |
| ·主要研究工作 | 第23-24页 |
| 第二章 复合量程压阻式加速度传感器阵列的结构设计 | 第24-40页 |
| ·设计方法 | 第24-25页 |
| ·结构设计及工作原理 | 第25-34页 |
| ·类型选择 | 第26-30页 |
| ·结构设计 | 第30-32页 |
| ·工作原理 | 第32-33页 |
| ·阵列设计 | 第33-34页 |
| ·结构参数设计 | 第34-38页 |
| ·参数设计约束 | 第34-36页 |
| ·结构参数的确定 | 第36-38页 |
| ·本章小节 | 第38-40页 |
| 第三章 复合量程压阻式加速度传感器阵列的参数设计 | 第40-51页 |
| ·压阻系数和压阻电桥的晶向与晶面的确定 | 第40-41页 |
| ·压阻条的结构及参数 | 第41-43页 |
| ·压敏电阻的阻值 | 第41-42页 |
| ·压敏电阻结构及尺寸 | 第42-43页 |
| ·压阻电桥的位置布置及连接 | 第43-47页 |
| ·压阻电桥的位置布置 | 第44-46页 |
| ·压阻电桥的连接 | 第46-47页 |
| ·传感器的输入、输出阻抗及输出灵敏度 | 第47-50页 |
| ·传感器的输入、输出阻抗 | 第47-48页 |
| ·传感器的输出灵敏度 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 复合量程压阻式加速度传感器阵列的性能分析 | 第51-70页 |
| ·阻尼分析 | 第51-55页 |
| ·自检测设计与分析 | 第55-57页 |
| ·抗冲击设计与分析 | 第57-58页 |
| ·抗干扰设计 | 第58-60页 |
| ·仿真分析 | 第60-68页 |
| ·横向灵敏度仿真分析 | 第61-63页 |
| ·模态分析 | 第63-66页 |
| ·自检测性能分析 | 第66-67页 |
| ·抗冲击性能分析 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 复合量程压阻式加速度传感器阵列的加工 | 第70-95页 |
| ·工艺设计 | 第70-81页 |
| ·加工所需关键工艺 | 第71-77页 |
| ·工艺流程 | 第77-81页 |
| ·版图设计 | 第81-91页 |
| ·版图设计考虑的因素 | 第81-86页 |
| ·版图设计说明 | 第86-91页 |
| ·传感器阵列加工后的参数测试 | 第91-94页 |
| ·传感器的电镜照片 | 第91-93页 |
| ·参数测试 | 第93-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第六章 复合量程压阻式加速度传感器阵列的封装与测试 | 第95-101页 |
| ·传感器阵列的封装 | 第95-96页 |
| ·传感器标定 | 第96-99页 |
| ·传感器灵敏度的标定 | 第96-98页 |
| ·传感器的线性度 | 第98-99页 |
| ·结果分析 | 第99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 总结 | 第101-104页 |
| 参考文献 | 第104-108页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第108-109页 |
| 致谢 | 第109页 |